2.離子泵在真空狀態(tài)下運(yùn)輸
3.具有寬廣的抽速范圍(從 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多種泵體配置
5.聯(lián)鎖的真空密封穿導(dǎo)件連接方便,并可避免腐蝕和限度縮小泵的總體尺寸
6.三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
7.專用陶瓷絕緣子可延長(zhǎng)泵的壽命
| StarCell® | 改進(jìn)型二極離子泵 | 二級(jí)泵 |
氮?dú)饷x抽速 (*) (L/s) | 410 | 440 | 500 |
在 1 x 10-6 mbar 壓力下的工作壽命(小時(shí)) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
啟動(dòng)壓力 (mbar) | ≤ 1x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
極限真空 | 低于 10-11 | ||
抽氣口法蘭 | 8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR | ||
max烘烤溫度 (℃) | 350 | ||
重量,kg(磅) | 120 (264) |
(*)根據(jù)ISO/DIS3556-1-1992測(cè)試
抽速與進(jìn)氣口壓力關(guān)系
外形圖