【總體描述】
       EVO系列鏡是高性能、功能強大的高分辨應(yīng)用型掃描子顯微鏡。EVO MA 25用于材料領(lǐng)域,LS 25用于生命科學(xué)領(lǐng)域。該系列鏡采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設(shè)計，提供高低空成像功能，可對各種材料表面作分析，并且具有業(yè)界*的X射線分析技術(shù)。革命性的eamsleeve的設(shè)計，確保在低壓條件下提供高分辨率的銳利圖像，同時還可以進行準(zhǔn)確的能譜分析。樣品臺為五軸全自動控制。標(biāo)準(zhǔn)的無油渦輪分子泵能夠滿足快速的樣品更換成像分析。

【技術(shù)參數(shù)】
    分辨率：3.0nm@ 30KV(SE and W)     
             4.0nm@ 30KV(VP with SD) 
     加速壓：0.2—30KV 
     放大倍數(shù)：5—1000000x 
     探針流：0.5PA-5μA
     X-射線分析工作距離：8.5mm    35度接收角 
     低空壓力范圍：10—400Pa (LS25：10-3000Pa)
     工作室：420mm(φ)×330mm(h) 
     5軸試樣載物臺：X=130mm  Y=130mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°

     大試樣高度：210mm，試樣大直徑：300mm 
     系統(tǒng)控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)

【主要特點】
     樣品高度可達210mm  
     大樣品重量5Kg  
     大的樣品直徑300mm  
     在可變壓力下操作 
     高亮度La6資源選擇 
     光線套選擇

【產(chǎn)品應(yīng)用】
         掃描鏡(SEM)廣泛應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。