設(shè)備的主要功能
可測量各種精密機(jī)械零件的素線輪廓形狀參數(shù),角度處理(坐標(biāo)角度,與Z坐標(biāo)的夾角,兩直線夾角)、圓處理(圓弧半徑,圓心到圓心距離,圓心到直線距離,交點到圓心的距離,直線到切點的距離)、點線處理(兩直線交點,交點到直線距離,交點與交點距離,交點到圓心的距離)、直線度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、輪廓度、傾斜度、垂直距離、水平距離等形狀參數(shù)。
儀器測量原理
由高精密氣浮直線運動導(dǎo)軌,建立X坐標(biāo)的高精密測量基準(zhǔn),Z坐標(biāo)由電感傳感器構(gòu)成,可以測量各種精密機(jī)械零件的素線形狀.本儀器由于基準(zhǔn)直線運動采用精密氣浮導(dǎo)軌,故移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長,而且運動靈活性好、直線性好、操作方便.運動距離采用進(jìn)口光柵尺計量,X軸的尺寸坐標(biāo)精確,數(shù)據(jù)采集及數(shù)據(jù)處理均采用計算機(jī),故測試精度高、功能多,又可方便打印和存檔,為用戶帶來很大的方便。
設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)
X軸導(dǎo)軌移動直線度:≤0.3μm/60mm
示值誤差1(L=X軸導(dǎo)軌移動距離):±(1.5+1.5L/100)μm
示值誤差2(H=Z軸方向測量高度):±(1.2+13H/100)μm
可測范圍:X軸方向100mm;
Z軸方向(工件較大高度)300mm
傳感器量程:10mm(可增加到20mm)
分辨率/量程:1/65536
進(jìn)口英國RENISHAW公司光柵尺:精度±2μm/100mm;分辨率1μm
數(shù)據(jù)采樣:精密直光柵觸發(fā)采樣1μm/點
綜合調(diào)整臺調(diào)整范圍:Y軸方向10mm,X軸水平可調(diào)±25度,Z軸回軸可調(diào)360度
工作壓力:0.35~0.43Mpa
氣源壓力:0.45~0.80Mpa
氣源流量:≥0.2 m3/min
電源:AC 220V±10% 50Hz
環(huán)境要求:溫度:10~30℃;相對濕度:<85%
主機(jī)重量:約200Kg
主機(jī)尺寸:900mm×490mm×1400mm