益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
- 溫度補(bǔ)償
- 傳感器防污染保護(hù)
- 一鍵調(diào)零功能
- 電源范圍廣
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
- 工業(yè)真空設(shè)備
- 常規(guī)高精度壓力測(cè)量
規(guī)格
| 類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應(yīng) | ||||||
| 零點(diǎn) | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 壓力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反應(yīng)時(shí)間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | |
CDG025D環(huán)境電容式膜片真空計(jì)
