益處
- 復(fù)合真空計(jì) – 倒置磁控管與皮拉尼
- 測量范圍廣，從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
- 不會(huì)出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象
- 的點(diǎn)火屬性
- 易于清潔
- FPM 或金屬密封饋入裝置
- 高壓 LED 指示燈
- 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力
- 中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
| 類型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
|---|---|---|---|
| 測量范圍（空氣，N2） | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
| 精度 (N2) | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
| 可重復(fù)性 | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
| 安裝定位 | any | any | |
| 容許壓力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容許溫度 | |||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
| 單絲溫度（皮拉尼） | °C | 120 | 120 |
| 電源電壓 | |||
| 真空計(jì)上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 纜線最長的電源裝置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
| 波紋 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
| 可連接的保險(xiǎn)絲 | AT | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號(hào)（測量信號(hào)） | |||
| 電壓范圍 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
| 測量范圍 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
| 電壓與壓強(qiáng) | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade | |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | |||
| 無電源 | V | <0.5 | <0.5 |
| 皮拉尼傳感器，單絲斷裂 | V | >9.5 | >9.5 |
| 輸出電阻 | ? | 2 x 10 | 2 x 10 |
| 最小負(fù)載電阻 | k? | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
| 反應(yīng)時(shí)間 | |||
| p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
| 識(shí)別真空計(jì) | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common | |
| 狀態(tài) | |||
| 僅皮拉尼模式 | V | ||
MPG40x 大氣壓至超高真空真空計(jì)
