益處
- 測(cè)量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
- 出色的可重復(fù)性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%
- 過壓檢測(cè)保護(hù)，防止燈絲燒毀
- 兩根長(zhǎng)壽命氧化銥燈絲
- 發(fā)射電流選擇，降低控制的繁瑣
- 植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準(zhǔn)性，并且易于更換
- 符合RoHS
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工藝和傳送腔室的壓強(qiáng)測(cè)量
- 工業(yè)鍍膜
- 從低真空到超高真空范圍的普通真空測(cè)量及控制
規(guī)格
| 類型 | BAG402 | |
|---|---|---|
| 測(cè)量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) | 5×10-10 … 2.7×10-2 | |
| 精度 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
| 重復(fù)性 | ||
| 10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
| 除氣 (1) | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 壓強(qiáng), | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 操作 (環(huán)境) | °C | 0 … +50 |
| 儲(chǔ)存 | °C | -20 … +70 |
| 法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元 | °C | 80 |
| 供電電壓 | +20 … +28 | |
| 輸出信號(hào)模擬 (4) | ||
| 輸出信號(hào) | V | 0 … +10 |
| 測(cè)量范圍 log / lin | V | 0 … +9 |
| 電壓 vs. 壓強(qiáng) | volts per decade | 1 |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | V | > +10 |
| 負(fù)載阻抗, 最小 | k? | 10 |
| 第二模擬輸出 | none | |
| 設(shè)點(diǎn)繼電器 | ||
| 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | none | |
| 范圍 | ||
| 繼電器觸點(diǎn) | ||
| 滯后 | ||
| 觸點(diǎn)額定值 | ||
| 數(shù)字功能 | degas and emission | |
| 接口 (數(shù)字) (2) | Diagnosis port | |
| 發(fā)射控制 | manual | |
| 燈絲 | two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir) | |
| 燈絲狀態(tài) / 繼電器 | LED / relay | |
| 電氣連接 | D-Sub, 9-pin, male | |
| 電纜長(zhǎng)度，值 | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空中的材料 | Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內(nèi)部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
| 保護(hù)級(jí)別 | IP30 | |
1）除氣期間準(zhǔn)確性降低
2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場(chǎng)總線
BAG402 中真空至超高真空真空計(jì)
