? 可觀察清晰無(wú)閃爍正像,且視場(chǎng)開(kāi)闊。
? 測(cè)量精度在同類(lèi)設(shè)備中*高(符合JIS B 7153標(biāo)準(zhǔn))。
? 使用ML 系列,專(zhuān)門(mén)為MF 系列設(shè)計(jì)的高NA物鏡(長(zhǎng)工作距離型)。
? 照明裝置(反射/ 透射) 可選用高亮度LED 燈泡或鹵素?zé)襞荨?/span>
? 利用可變孔徑光闌(反射/ 透射) 可進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量。
? 各類(lèi)尺寸的標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái),*大達(dá)到400×200mm。
? 快速釋放裝置便于在測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)。
? 粗調(diào)/ 細(xì)調(diào)進(jìn)給手柄作為標(biāo)準(zhǔn)配置安裝在立柱兩側(cè),便于*聚焦與觀察測(cè)量,不受用左手或右手習(xí)慣的影響。
? 高倍目鏡觀察,*高達(dá)2000X。
? 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量顯微鏡,配有種類(lèi)繁多的可選附件,包括Vision Unit 影像裝置與各種CCD數(shù)碼相機(jī)。
測(cè)量顯微鏡技術(shù)參數(shù)
不帶Z軸測(cè)量 | 型號(hào) | MF-A1010D | MF-A2010D | MF-A2017D | MF-A3017D | MF-A4020D |
帶有Z軸測(cè)量 | 型號(hào) | MF-B1010D | MF-B2010D | MF-B2017D | MF-B3017D | MF-B4020D |
觀察圖像 | - | BF(亮視場(chǎng))/正像 | ||||
目鏡 | 屈光度調(diào)節(jié) | 10X(視場(chǎng)數(shù)24),15X,20X 注:?jiǎn)文客茬R:一個(gè)10X目鏡(標(biāo)配),雙目筒鏡:2個(gè)10X目鏡(標(biāo)配) | ||||
物鏡 | - | ML系列3X物鏡(標(biāo)配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X | ||||
照明裝置 (二選一) | LED照明裝置 | 透射照明:內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 反射照明:科勒照明,可調(diào)孔徑光闌,白色LED光源,無(wú)極亮度調(diào)節(jié) 控制裝置:電源ON/OFF開(kāi)關(guān)(主開(kāi)關(guān)),100 - 240V AC電源輸入連接器 | ||||
鹵素照明裝置 | 透射照明:遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 反射照明:科勒照明,可調(diào)孔徑光闌,鹵素?zé)襞?12V, 50W),無(wú)極亮度調(diào)節(jié),冷卻風(fēng)扇 控制裝置:電源ON/OFF開(kāi)關(guān)(主開(kāi)關(guān)),100 - 240V AC電源輸入連接器 | |||||
工作臺(tái) | 測(cè)量范圍 | 100×100mm | 200×100mm | 200×170mm | 300×170mm | 400×200mm |
快速釋放裝置 | X和Y軸(標(biāo)配) | |||||
調(diào)零開(kāi)關(guān) | X和Y軸(標(biāo)配) ,(MF-B型,Z軸也為標(biāo)配) | |||||
Z軸 | *大工件高度 | 150mm | 220mm | |||
進(jìn)給方式 | 同軸軸粗/微調(diào)、左右手柄 (粗調(diào):30mm/圈、微調(diào):0.2mm/圈) | |||||
測(cè)量精度(XY軸:無(wú)負(fù)載) | (2.2+0.02L)μm L: 為測(cè)量長(zhǎng)度(mm) | |||||
數(shù)顯計(jì)數(shù)器 | 分辨力 | 可在1/0.5/0.1μm間轉(zhuǎn)換 | ||||
顯示軸 | X和Y軸,(MF-B型、X, Y和Z軸) | |||||
功能 | 調(diào)零,方向轉(zhuǎn)換和RS-232C輸出、USB輸出(QSPAK用) | |||||
燈泡更換符合傳輸/反射照明 | 標(biāo)準(zhǔn):513667 (12V, 50W) | |||||
燈泡壽命:1,100小時(shí) |