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物品信息：
派克955系列1-1/4英寸不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供出色的抗漏能力，長久的使用壽命以及低雜質(zhì)生成。這些優(yōu)點(diǎn)使它成為高純半導(dǎo)體應(yīng)用的理想選擇。
955系列在過程流體的使用中采用無螺紋及彈簧連接，這種設(shè)計(jì)能夠大限度的減少雜質(zhì)的生成并且可以使過程減少污染，而這是半導(dǎo)體應(yīng)用的關(guān)鍵。嚴(yán)格的閥門設(shè)計(jì)能夠控制閥座及膜片的壓力，從而提供穩(wěn)定的免維護(hù)的使用壽命。
這些材質(zhì)組成了955系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特征，為955系列提供了的抗腐蝕性，在入口壓力250 psig時達(dá)到更大的使用壽命。
955系列閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏測試，以獲得其在高要求的超高純應(yīng)用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。
市場需求：
• 半導(dǎo)體
• 分析實(shí)驗(yàn)室
• 制藥業(yè)
• 生物制藥業(yè)
• 航空航天
• 工業(yè)
特點(diǎn)/優(yōu)勢：
• 5微英寸（Ra）電解拋光表面光潔度
• 高使用壽命（包含腐蝕性條件下）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)，更大限度的減少了雜質(zhì)的生成和氣體的卷入
• 從真空到250 psig適用
• 內(nèi)部泄漏率：≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率：≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 標(biāo)稱AOP驅(qū)動壓力為75 psig
應(yīng)用：
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 特氣柜
• 閥箱
