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產(chǎn)品信息:
這些新型的、清潔的、材質(zhì)為含氟聚合物的手動和氣動閥門大大提高了流量,并提供更好的增強型閥座密封,增強無泄漏性能,提供了更大的安全性。
它們旨在以更小的體積提供更高的流量。采用計算流體動力學(xué)軟件來更大化通過這些閥門的流量。這類凈化閥適用于半導(dǎo)體液體應(yīng)用,包括高濃度酸和堿,
明確的其他化學(xué)物質(zhì)和漿液。因其清潔度和擁有高度的耐化學(xué)腐蝕性能,對于其他嚴苛的市場應(yīng)用,也可以使用這些閥門。市場:
• 半導(dǎo)體加工
• 化學(xué)品加工
• 分析設(shè)備
• 實驗室特點與優(yōu)勢:
• 耐酸和漿料,循環(huán)使用壽命長
• 簡潔的標識,真正的上鎖掛牌設(shè)計(LOTO)
• 雙點密封提供雙倍的密封效能(申請中)
• 平滑的鉆孔和可清掃的流道,大限度地減小顆粒捕獲區(qū)域并有效減少截留區(qū)的形成
• 100%泄漏測試
• 符合SEMI-F57-0301標準關(guān)鍵應(yīng)用:
• 化學(xué)機械拋光(CMP)漿料
• 超高純度工藝
• 明確的半導(dǎo)體工藝化學(xué)物質(zhì)
• 攪拌機系統(tǒng)
• 清潔系統(tǒng)