功能
- 兩條測(cè)量通道
- 用于速率、速率偏差或厚度的四個(gè)模擬輸出
- 八個(gè)可編程的數(shù)字輸入
- 八個(gè)可編程的數(shù)字輸出
- 每秒 10 個(gè)讀數(shù)時(shí)的高精度
- 顯示質(zhì)量或厚度
- 共沉積監(jiān)測(cè)功能
典型應(yīng)用
- 單/雙傳感器監(jiān)測(cè)
- 共沉積監(jiān)測(cè)
規(guī)格
類型 | STM-2XM | |
---|---|---|
兼容傳感器 | Single/shuttered single or dual QCM sensor | |
傳感器輸入 | Two | |
測(cè)量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
頻率分辨率 | ±0.03 MHz at 6 MHz | |
參考頻率穩(wěn)定性 | ±2 ppm | |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 | ±0.037 ? @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
測(cè)量間隔 | 0.10 s | |
存儲(chǔ)薄膜 | 15 | |
顯示模式 | Thickness/Mass | |
數(shù)字輸入 | Eight | |
數(shù)字輸出 | Eight | |
模擬輸出 | Four | |
模擬輸出額定參數(shù) | 0 to +/-10 V, 10 mA | |
繼電器額定參數(shù) | Up to 48 V (dc) ? V (ac), 2A | |
電源要求 | 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA |
零件號(hào)
STM-2XM | |
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零件號(hào) | 明細(xì) |
STM-2XM-G1 | STM-2XM 監(jiān)測(cè)儀,美式電源線 |
STM-2XM-G2 | STM-2XM 監(jiān)測(cè)儀,歐式電源線 |
附件
名稱 | 說明 |
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Easy Rate Single Sensor | |
前裝式單傳感器 | |
前裝式雙傳感器 | |
炫酷抽屜單傳感器 | |
炫酷抽屜雙傳感器 | |
薄型雙傳感器 | |
UHV 可烘烤傳感器 | |
ALD 傳感器 | |
濺射傳感器 |
零件號(hào) | 明細(xì) |
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783-014-008 | 機(jī)架安裝套件 - 在一個(gè) 48.3 厘米(19 英寸)機(jī)架中安裝一個(gè) STM-2XM 儀器 |
783-014-009 | 雙機(jī)架安裝套件 - 在一個(gè) 48.3 厘米(19 英寸)機(jī)架中安裝兩個(gè) STM-2XM 儀器 |
Oscillator kits | (包括振蕩器和電纜) |
783-500-109-10 | 3 米(10 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 3 米(10 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-25 | 7.6 米(25 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-50 | 15.2 米(50 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜 |
783-500-109-75 | 22.8 米(75 英尺)振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜和 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜 |
Oscillator Only | (未隨附電纜) |
783-500-013 | 僅 OSC-100 振蕩器(無電纜) |
Cables | |
782-902-011 | 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,公型/母型 |
782-902-012-10 | 3 米(10 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-25 | 7.6 米(25 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-50 | 15.2 米(50 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
782-902-012-75 | 22.8 米(75 英尺)BNC 電纜,公型/公型 |
耗材
名稱 | 說明 |
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石英監(jiān)控器晶體 |
手冊(cè)
手冊(cè)
目錄
其他文件