功能
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
- 支持最多六個來源同時共沉積
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展?fàn)顩r
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
- 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復(fù)雜的系統(tǒng)(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)
- 6 個標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
- 可容納最多 50 個過程,每個過程 200 層,這些過程關(guān)聯(lián)到一起,總共可容納 10,000 層。
- 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
- 可選以太網(wǎng)通信
- Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用
- 光學(xué)鍍膜
規(guī)格
類型 | IC6 | |
---|---|---|
測量性能 | ||
頻率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz | |
厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.00433 ? | |
測量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
厚度精度 (2) | 0.5% | |
測量周期 | 0.10 s | |
多個測量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
設(shè)計功能 | ||
Auto Z | yes | |
自動色調(diào) | yes | |
共沉積 | yes (up to 6 sources) | |
過程配方和數(shù)據(jù)管理 | ||
材料計劃 | 32 | |
過程層(每個過程) | 200 | |
過程 | 50 (processes can be linked together) | |
USB 存儲器 | yes | |
數(shù)據(jù)記錄 | yes | |
硬件功能 | ||
傳感器 (3) | ||
單 | 8 | |
雙 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
CrystalSix® | 8 | |
Crystal 12® | 8 | |
通用 | 8 | |
來源控制 | ||
來源數(shù)量 (4) | up to 6 | |
來源控制電壓 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
輸出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
坩堝位置 | 64 | |
輸入 / 輸出 | ||
輸入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
輸出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
記錄器輸出 (4) | 0 to +10 V, adjustable | |
邏輯語句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
通信 | ||
標(biāo)準(zhǔn) | RS232 | |
可選 | Ethernet | |
顯示器 | ||
厚度分辨率 | 1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ | |
速率分辨率 | 0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s | |
操作 | ||
電源要求 | 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz | |
工作溫度 | 0 to 50°C (32 to 122°F) | |
尺寸,不包括安裝件(高 x 寬 x 深) | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
重量 | 23 lbs (10.5 kg) |
(1) 工具/密度 = 100/1,基礎(chǔ)頻率 = 6 兆赫茲
(2) 隨過程變化;數(shù)值表示典型的精度
(3) 每種類型的配置
(4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標(biāo)準(zhǔn),還可再選擇再添加 6 個。 可將 12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出,但可同時控制的來源數(shù)量為 6
附件
名稱 | 說明 |
---|---|
前裝式單傳感器 | |
前裝式雙傳感器 | |
炫酷抽屜單傳感器 | |
炫酷抽屜雙傳感器 | |
薄型雙傳感器 | |
UHV 可烘烤傳感器 | |
ALD 傳感器 | |
濺射傳感器 | |
CrystalSix® 傳感器 | |
Easy Rate Single Sensor | |
Crystal 12® 傳感器 | |
RSH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器 |
零件號 | 明細(xì) |
---|---|
755-262-G1 | Handheld Power Controller |
779-220-G1 | CrystalTwo 開關(guān),15.2 cm (6 in.) BNC 電纜 |
779-220-G2 | CrystalTwo 開關(guān),50.8 cm (20 in.) BNC 電纜 |
Oscillator kits | (包括振蕩器和電纜) |
781-611-G15 | 帶 4.6 米(15 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-611-G30 | 帶 9.1 米(30 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-611-G50 | 帶 15.2 米(50 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-611-G100 | 帶 30.5 米(100 英尺)電纜的 XIU PKG - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-612-G15 | 帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-612-G30 | 帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-612-G50 | 帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-612-G100 | 帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU - 包括 4 米真空電纜和 6 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-613-G15 | 帶 4.6 米(15 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-613-G30 | 帶 9.1 米(30 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-613-G50 | 帶 15.2 米(50 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-613-G100 | 帶 30.5 米(100 英尺)XIU 電纜的 4 米 XIU PKG - 包括 3.5 米真空電纜和 20 英寸 BNC(XIU 至饋入件)電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
Oscillator Only | (未隨附電纜) |
781-600-G1 | XIU(振蕩器)- 用于長度為 15 至 183 厘米(6 至 72 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 配合使用 |
781-600-G2 | XIU(振蕩器)- 用于長度為 3 至 4 米(118 至 157 英寸)的 XIU 至傳感器頭電纜 - 與 Cygnus 2 或 IC6 配合使用 |
Cables | |
600-1261-P100 | 30.5 米(100 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P15 | 4.6 米(15 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P30 | 9.1 米(30 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
600-1261-P50 | 15.2 米(50 英尺)電纜,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU |
755-257-G6 | 15.2 厘米(6 英寸)BNC 電纜,XIU 至真空饋入件 |
Configuration Editor Software | |
781-620-G1 | IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format. |
耗材
名稱 | 說明 |
---|---|
石英監(jiān)控器晶體 |
手冊
手冊
目錄
其他文件