研究樣品時,得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常重要的。借助全面集成、特殊設(shè)計的能譜探測器,飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設(shè)計在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析,檢測樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
