高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進一步。
通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標準。
特點
低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設計的電子光學系統(tǒng)和信號處理技術實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時可以非常好地觀察樣品表面的細微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”＊4
具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊4
規(guī)格
項目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) | |
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） | |
加速電壓 | 0.3～30kV | |
可變壓力范圍 | 6～650Pa | |
樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
樣品臺 | X | 0～100mm |
Y | 0～50mm | |
Z | 5～65mm | |
R | 360° | |
T | -20～90° | |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用) | |
樣品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
馬達臺 | 5軸標配 | |
電子光學系統(tǒng) | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
渦輪分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
機械泵 | 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 | |
觀察
