測量項(xiàng)目

測量項(xiàng)目

點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、

交點(diǎn)到圓心的距離等）、較高點(diǎn)、較低點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、

直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)

測量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

220mm

Z1軸（傳感器）

20mm

Z軸（立柱）

400mm

測量精度

X軸(L=X軸導(dǎo)軌移動距離)

±(1+L/100) μm

Z1軸(H=Z1軸方向測量高度)

±(1.8+3H/100) μm

X軸水平臂

直線度

0.2μm /100mm

光柵分辨率

0.1μm

光柵產(chǎn)地

進(jìn)口

Z1軸傳感器

分辨率

0.02μm

傳感器類型

電感傳感器

產(chǎn)地

進(jìn)口

移動方向

前/后 雙方向

測力

0.01-0.06N

測針針尖

硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度 下降88度

速度

測量速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個)

定位速度

0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個)

圖形放大/縮小

圖形放大

可縮小、放大

綜合調(diào)整臺

A型綜合調(diào)整臺

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°，Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm，Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

B型綜合調(diào)整臺

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度

安裝要求

電源

220-240V AC, 50HZ，單獨(dú)地線；較大功率消耗450W

壓縮空氣

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求

工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源