測量項目 | ||||
測量項目 | 點、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、 交點到圓心的距離等）、較高點、較低點、距離、角度處理（坐標夾角、直線夾角）、 直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) | |||
測量范圍 | ||||
X軸（橫導軌） | 100mm | |||
Z1軸（傳感器） | 20mm | |||
Z軸（立柱） | 400mm | |||
測量精度 | ||||
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X軸(L=X軸導軌移動距離) | ±(1+2L/100) μm | |||
Z1軸(H=Z1軸方向測量高度) | ±(1.8+3H/100) μm | |||
X軸水平臂 | ||||
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直線度 | 0.2μm /60mm | |||
光柵分辨率 | 0.1μm | |||
光柵產(chǎn)地 | 進口 | |||
Z1軸傳感器 | ||||
分辨率 | 0.02μm | |||
傳感器類型 | 電感傳感器 | |||
產(chǎn)地 | 進口 | |||
移動方向 | 前/后 雙方向 | |||
測力 | 0.01-0.06N | |||
測針針尖 | 硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm | |||
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 | |||
速度 | ||||
測量速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個) | |||
定位速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個) | |||
圖形放大/縮小 | ||||
圖形放大 | 可縮小、放大 | |||
綜合調(diào)整臺 | ||||
A型綜合調(diào)整臺 | X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°，Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm，Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置） | |||
B型綜合調(diào)整臺 | X軸水平傾斜調(diào)整范圍：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 | |||
安裝要求 | ||||
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電源 | 220-240V AC, 50HZ，單獨地線；較大功率消耗450W | |||
壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） | |||
環(huán)境要求 | 工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jié)露），良好地線，無明顯振源 | |||
