產(chǎn)品概述：
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操作簡易，功能強(qiáng)大
新型并且功能強(qiáng)大的 FE-SEM，集超高分辨率成像和強(qiáng)化的分析功能于一體。
產(chǎn)品特點：
- 分辨率：GB 模式下為1.5 nm （1 kV），1.0 nm（15 kV）
- 速電壓： 0. 1kV to 30 kV
- 放大倍數(shù)： 25到1,000,000x
- 可與冷場FEG SEM媲美的超高分辨率成像在GB 模式下為1.5 nm（1 kV），1.0 nm （15 kV）
- In-lens 熱場 FE 槍
- 束光闌角控制鏡，不管束流大小，均可獲得的電子束照射。
- 電流 200 nA（15 kV）時的分析能力可以支持各種類型的樣品分析（WDS、EDS等）
- γ過濾器能控制能量選擇或二次電子及背散射電子像的圖像混和率
- 柔和光束模式可將電子束對超表面成像引起的損傷降低到程度
- 節(jié)能并且環(huán)保
| 一般數(shù)據(jù) | |
| SEI 分辨率? | 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） |
放大倍數(shù) | 25 到 1,000,000x |
加速電壓 | 0.1 到 30 kV |
束流 | 1 pA 到 200 nA（15 kV時） |
光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
探測器 | 上方和下方探測器 |
能量過濾器 | 新型γ過濾器 |
柔和光束 | 內(nèi)置 |
數(shù)字圖像 | 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 |
樣品交換室 | 單步加載/卸載 |
樣品臺 | 全對中，5軸馬達(dá)驅(qū)動 |
類型 | IA | II | III |
X-Y ? | 70 mm x 50 mm | 110 mm x 80 mm | 140 mm x 80 mm |
傾斜 | -5 到 +70° | ||
旋轉(zhuǎn) | 360° | ||
工作距離 | 1.5 mm 到 25 mm | ||
真空系統(tǒng) | 2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP | ||
節(jié)能設(shè)計 | 正常運(yùn)行：1.2 kVA 休眠模式：1 kVA 操作系統(tǒng)關(guān)閉（OFF）：0.76 kVA | ||
