對于硅來說，缺陷分辨率≥100μm;
對于比較大、重的樣品必須根據(jù)外形來自定義裝載端口和掃描頭）
4通道系統(tǒng)，保障獲得高性能的吞吐能力；
高分辨率的探頭陣列，可檢測100μm的空洞缺陷。
主要用于單個晶錠的缺陷檢測，分析空洞、夾雜物以及樣品的大小厚度等數(shù)據(jù)。它能夠檢測5-12英寸的硅錠，可達400mm的厚度，重量可達75公斤。
通過5套高性能的RAID1工作站，獲得相關(guān)數(shù)據(jù)；
和加工主機通訊的SEMSESC接口模塊；
缺陷回放軟件：系統(tǒng)能夠估算晶錠內(nèi)部缺陷
在三個方向（X,Y,Z)的位置,包括鍥入缺陷的補償；
用于5-12英寸硅錠的裝載端口；
如果晶錠前面接口處無法垂直于模具中心線，
有特殊的調(diào)整機構(gòu)可用來補償鍥入缺陷；
前軸定位和槽口探測器；
高精密的把手設(shè)備，對于晶錠來說，可達75公斤；
快速多探頭掃描系統(tǒng)（4個探頭）；
檢測前后的干燥單元；
缺陷深度探測的分析軟件和硬件；
耦合液（水）的自動更換；
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價 | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 國產(chǎn)掃描電子顯微鏡 | ￥1200000 | 深圳市 | 深圳市中圖儀器股份有限公司 | 2025-02-07 | 在線詢價 |
| 電子顯微鏡 | ￥3200 | 青島市 | 青島聚創(chuàng)環(huán)保集團有限公司 | 2024-06-16 | 在線詢價 |
| IKEIDARIKA池田理化透射電子顯微鏡JEM-F200 | ￥35400 | 深圳市 | 深圳市井澤貿(mào)易有限公司 | 2023-03-29 | 在線詢價 |
| 高分辨率X射線顯微CT（XRM） 電子顯微鏡 | 面議 | 武漢市 | 武漢市艾德寶儀器設(shè)備有限公司 | 2023-10-28 | 在線詢價 |
| 手持式現(xiàn)場檢測偏光數(shù)碼顯微鏡 電子顯微鏡 | 面議 | 北京市 | 北京福祿克斯科技有限公司 | 2024-08-07 | 在線詢價 |
| 臺式掃描電子顯微鏡 | ￥1200000 | 深圳市 | 深圳市中圖儀器股份有限公司 | 2024-12-27 | 在線詢價 |
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