安裝要求
(更多的數(shù)據(jù)請(qǐng)參考“預(yù)安裝手冊(cè)”)
?電源:電壓230V(+6%,-10%),
頻率50or60Hz(+/-1%)
?耗電量:電鏡基本系統(tǒng)<>
?接地:<>
?場(chǎng)地環(huán)境:工作溫度15°C-25°C；
?相對(duì)濕度
<>
<100nt(非同步頻率，水平x>
<300nt(同步頻率，水平x>
?門(mén)寬:90cm
?重量:主機(jī)重量約450kg
?干燥氮?dú)?推薦使用):0.7-0.8bar,
放氣時(shí)流速10l/min
?噪音:<>
?振動(dòng)(需場(chǎng)地測(cè)試確定)
?減振臺(tái)可選
節(jié)能措施
?EnergyStar認(rèn)證的顯示器和工作站
?無(wú)需冷卻水和空壓機(jī)
系統(tǒng)控制
?基于Windows®XP操作系統(tǒng)的32位圖形用戶(hù)界面，
?鍵盤(pán)，光電鼠標(biāo)
?1個(gè)/2個(gè)*19寸液晶顯示器,分辨率1280x1024
?軟件驅(qū)動(dòng)的輸入/輸出共享器*
?游戲操縱桿*
?多功能控制板*
圖像處理器
?4096x3536像素
?圖像文件格式：TIFF(8or16bit),BMPorJPEG
?單窗口或四窗口圖像顯示
?四活動(dòng)窗口
?實(shí)時(shí)或靜態(tài)信號(hào)按彩色或按灰度等級(jí)混合
?256幀平均或積分
?數(shù)字動(dòng)畫(huà)記錄(.avi格式)
?直方圖及圖像測(cè)量軟件
支持軟件
?SmartSCAN™智能掃描技術(shù)
?蒙太奇圖像導(dǎo)航
?軟件溫度控制
?FEI動(dòng)畫(huà)生成工具
系統(tǒng)選項(xiàng)
?減速模式
?多功能控制板
?支持計(jì)算機(jī)(包括第二個(gè)19寸液晶顯示器)
?軟件控制的Peltier冷臺(tái)
?軟件控制的WetSTEM™
?軟件控制的1000°C熱臺(tái)
?軟件控制的1500°C熱臺(tái)
?游戲操縱桿
?樣品電流探測(cè)
?遠(yuǎn)程控制
?視頻打印機(jī)
?樣品座套件
?機(jī)械泵隔音罩
?7針或52針電氣接口
?靜電電子束束閘
?波譜儀接口
?更換成無(wú)油機(jī)械泵套件
?輔助氣體接口(采用非水氣體)
通用第三方附件
?能譜儀
?波譜儀
?EBSD
?冷臺(tái)
?陰極熒光譜儀
?樣品電流探測(cè)器
?納米機(jī)械手
?CAD導(dǎo)航
?電子探針臺(tái)
軟件選項(xiàng)
?遠(yuǎn)程控制/觀察軟件
?圖像分析軟件
?基于Web的數(shù)據(jù)庫(kù)軟件
?高度分布/粗糙度測(cè)量軟件
支持文檔
?在線幫助
?入門(mén)培訓(xùn)CD
?RAPID™(遠(yuǎn)程診斷軟件)
?免費(fèi)連接到FEI用戶(hù)群在線資源庫(kù)
?免費(fèi)加入FEI環(huán)境掃描用戶(hù)俱樂(lè)部
研究各種各樣的材料，并進(jìn)行結(jié)構(gòu)和成份表征，是目前對(duì)掃描電鏡的主流應(yīng)用要求。FEIQuanta™系列靈活、通用，足以應(yīng)對(duì)當(dāng)今人們廣博的研究方向這一挑戰(zhàn)?！胺治鋈魏螛悠罚玫剿袛?shù)據(jù)”，在Quanta上可得到表面像和成份像，并可輔以多種附件來(lái)確定材料的性質(zhì)和元素組成。
當(dāng)今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經(jīng)導(dǎo)電處理過(guò)的樣品。Quanta對(duì)任何樣品都可得到高質(zhì)量的圖像和分析結(jié)果。無(wú)論是對(duì)現(xiàn)今的或是將來(lái)的應(yīng)用領(lǐng)域，F(xiàn)EI的Quanta50系列都是一個(gè)的、靈活的解決方案。其特點(diǎn)是，具有高真空、低真空和ESEM™環(huán)境真空三種真空模式，適合分析泛的樣品范圍，從傳統(tǒng)的金屬材料、斷口和拋光斷面，到不導(dǎo)電的軟物質(zhì)。
Quanta系列用戶(hù)界面使用起來(lái)十分方便、靈活，有多種功能地發(fā)揮其使用效率，并且允許采集所有需要的數(shù)據(jù)。它是電鏡專(zhuān)家設(shè)計(jì)來(lái)給電鏡專(zhuān)家使用的儀器，性能遠(yuǎn)不止“簡(jiǎn)便易用”。這些功能有：*的圖像導(dǎo)航功能包括蒙太奇圖像導(dǎo)航、鼠標(biāo)雙擊樣品臺(tái)移動(dòng)、鼠標(biāo)拖曳放大居中功能以及其它標(biāo)準(zhǔn)的特色術(shù)；SmartSCAN™，一種智能掃描技術(shù)，能降低信號(hào)噪音，提供更好的數(shù)據(jù)；電子束減速模式，一個(gè)新的選項(xiàng)，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個(gè)全新的水平；Nav-Cam™彩色圖像導(dǎo)航器及新開(kāi)發(fā)的探測(cè)器也大大增加了其靈活性。
更多數(shù)據(jù)、更多靈活性、更高效率，Quanta系列使您的投資更具價(jià)值。
主要優(yōu)點(diǎn)
?在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品，得到二次電子像和背散射電子像
?降低樣品制備要求:低真空/環(huán)境真空技術(shù)使得不導(dǎo)電樣品和/或含水樣品不經(jīng)導(dǎo)
電處理即可直接成像和分析，樣品表面無(wú)電荷累積現(xiàn)象
?的“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)，對(duì)導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品都可進(jìn)行EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式。穩(wěn)定的大束流(2μA)確保能譜及EBSD分析工作的快速、準(zhǔn)確
?電鏡可作為一個(gè)微觀實(shí)驗(yàn)室。安裝特殊的原位樣品臺(tái)后，在從-165°C到1500°C溫度范圍
內(nèi)，對(duì)多種樣品保持其原始狀態(tài)下進(jìn)行動(dòng)態(tài)原位分析
?對(duì)導(dǎo)電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息
?直觀、簡(jiǎn)便易用的軟件，即使電鏡新手也能輕易上手
典型應(yīng)用
納米表征
?金屬及合金,氧化/腐蝕,斷口,焊點(diǎn),拋光斷面,磁性及超導(dǎo)材料
?陶瓷,復(fù)合材料,塑料
?薄膜/涂層
?地質(zhì)樣品斷面,礦物
?軟物質(zhì):聚合物,藥品,過(guò)濾膜,凝膠,生物組織,木材
?顆粒,多孔材料,纖維
原位過(guò)程分析
?增濕/去濕
?浸潤(rùn)行為/接觸角分析
?氧化/腐蝕
?拉伸(伴隨加熱或冷卻)
?結(jié)晶/相變
納米原型制備
?電子束曝光(EBL)
?電子束誘導(dǎo)沉積(EBID)
主要參數(shù)
電子光學(xué)
?高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽(yáng)極熱發(fā)射電子槍
?固定式物鏡光闌，使用方便
?45°錐度物鏡極靴，及“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
?加速電壓:200V-30kV
?束流:2μA并連續(xù)可調(diào)
?放大倍數(shù):6x–1,000,000x
分辨率
?高真空
-30kV下3.0nm(SE)
-30kV下4.0nm(BSE)*
-3kV下8.0nm(SE)
?高真空下減速模式*
-3kV下7.0nm*
?低真空
-30kV下3.0nm(SE)
-30kV下4.0nm(BSE)
-3kV下10nm(SE)
?環(huán)境真空(ESEM)
-30kV下3.0nm(SE)
檢測(cè)器
?E-T二次電子探頭
?大視場(chǎng)低真空氣體二次電子探頭(LFD)
?氣體二次電子探頭(GSED)
?樣品室紅外CCD相機(jī)
?高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
?氣體背散射探頭*
?四分固體背散射探頭*
?閃爍體型背散射探頭/CLD*
?vCD(低電壓高襯度探頭)*
?電子束流檢測(cè)器*
?分析型氣體背散射探頭(GAD)*
?Nav-Cam™–光學(xué)相機(jī)彩色成像，用于樣品導(dǎo)航*
?陰極熒光探測(cè)器*
?能譜*
?波譜*
?EBSD*
真空系統(tǒng)
?1個(gè)250l/s渦輪分子泵,1個(gè)機(jī)械泵
?的“穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)
?電子束在氣體區(qū)域的行程：10mm或2mm
?可升級(jí)成無(wú)油機(jī)械泵
?樣品室真空度(高真空模式)<>
?樣品室真空度(低真空模式)<>
?樣品室真空度(環(huán)境真空模式)<>
?典型換樣時(shí)間:高真空模式≤150秒；
低真空及環(huán)境真空模式≤270秒(FEI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試程序)
樣品室
?左右內(nèi)徑379mm
?10mm分析工作距離
?10個(gè)探測(cè)器/附件接口
?EDS采集角:35°
樣品臺(tái)
?X/Y=150mm
?Z=65mm
?傾斜：-5°to+70°
?連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
?重復(fù)精度:2μm(X/Y方向)
?偽全對(duì)中樣品臺(tái)
樣品座
?多樣品座
?單樣品座
?適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
