美國ZYGO白光干涉儀8200 NewView 8200系列的3D光學表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以極其精準的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸和其它形貌特征。 使用zygo的相干掃描干涉技術,NewView 8200系列輪廓儀可以很容易的測量各種材質表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。 系統(tǒng)參數(shù): ◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀 ◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器 ◆視場:標準配置:0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大范圍 ◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設計長壽命白光LED ◆物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具 ◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦) ◆測量陣列:標配1024×1024 像素;可選分辨率:512×512 ◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實時觀察 ◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦 ◆Z 軸驅動:直流無刷微步進電機驅動,100mm 行程,0.1μm 精度 ◆尺寸:系統(tǒng)尺寸:151×73×61cm ,NewView:81×58×41cm ◆重量 :系統(tǒng)重量:約229Kg ◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz ◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機 ◆軟件:ZYGO MX軟件 ◆物鏡座: 標配,可快速裝卸單物鏡夾具 ◆物鏡:1X,2X,2.75X,5.5X,10X,20X,50X,100X。 ◆塔臺:手動6位塔臺;電控 64位塔臺; ◆樣品臺:手動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動可選 ◆縱向掃描范圍:150μm,拓展掃描模式可到20mm, ◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.34μm(100X物鏡下) ◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關 ◆大數(shù)據(jù)點: 標準307200;可選984064; ◆RMS 重復性 <0.01 nm, RMSσ ◆臺階測量 準確度: ≤ 0.8% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ ◆測樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射 ◆反射率: 0.5-99% ◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長); |