系統(tǒng)參數(shù):
◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷,高線性電容傳感器,
◆視場放大倍率:高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×
◆成像放大: 電動3 位系統(tǒng)成像放大
◆視場:0.03-14mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范圍
◆光源: 均勻成像,高效率,特殊設(shè)計(jì)長壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架,視場光闌(輔助聚焦)
◆測量陣列:標(biāo)配640×480 像素;可選更高分辨率992×992
◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)觀察
◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦
◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,200mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,
◆重量 :系統(tǒng)重量:約430Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)
◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件
◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺;電控 6 位塔臺;
◆物鏡: 1X,2X,2.5X,5X,10X,
◆樣品臺:手動,俯仰.傾斜(±6°)和XY 平移(±100mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(152mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY平移(152mm) 三種可選.
◆縱向掃描:150μm,拓展掃描模式可到20mm,
◆縱向分辨率 <0.1nm,橫向分辨率 0.36~9.5μm,與所選物鏡有關(guān),
◆掃描速度 ≤26μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關(guān)
◆大數(shù)據(jù)點(diǎn): 標(biāo)準(zhǔn)307200;可選984064;
◆RMS 重復(fù)性 <0.01 nm, RMSσ
◆臺階測量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
◆測樣品特性:各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-99%