SAL-1000 SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司由瑞典Hot Disk有限公司，英國THT有限公司共同注資成立的。公司開發(fā)、制造并銷售導(dǎo)熱系數(shù)分析儀、反應(yīng)量熱儀等世界*的*分析儀器，同時(shí)是以色列Nanonics原子力顯微鏡AFM/掃描探針電鏡SPM以及AFM＋Raman＋I(xiàn)R＋SEM/SPM一體連用測(cè)試技術(shù)。公司在范圍內(nèi)擁有眾多系統(tǒng)用戶，并在英國、美國、德國、日本等二十個(gè)國家和地區(qū)設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

瑞典Hot Disk公司主要開發(fā)、制造并銷售基于瞬變平面熱源技術(shù)（TPS）的熱導(dǎo)率、熱擴(kuò)散率和比熱容的測(cè)試儀器；英國THT公司是一家專業(yè)開發(fā)制造量熱儀和提供化工領(lǐng)域安全咨詢和產(chǎn)品檢測(cè)服務(wù)的公司。

以色列NANONICS IMAGING LTD.是業(yè)界將近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（NSOM）技術(shù)和原子力顯微鏡（AFM）相技術(shù)相結(jié)合的*，NANONICS憑借著實(shí)力和品質(zhì)，其產(chǎn)品涉足的領(lǐng)域從科研到工業(yè)，從生物學(xué)到半導(dǎo)體，從化學(xué)制品到無線電通訊，應(yīng)用范圍極其廣泛。公司新近推出了材料表征連用技術(shù)，包括Nanonics系列電鏡（AFM、SPM）與Renishaw拉曼光譜儀、Smith在線紅外技術(shù)和掃描電鏡SEM的組合一體機(jī)，具有很高的性價(jià)比和競(jìng)爭(zhēng)力。

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SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...

SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積... 產(chǎn)品詳情

SAL-1000 ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL-1000Series是由日本AGUS生產(chǎn)的桌面型ALD原子層沉積設(shè)備，可搭載2路前驅(qū)體。適用于4英寸（φ 100mm）基片的沉積，并可搭載粉末樣品架和手套箱。

SAL-1000Sseries原子層沉積設(shè)備具備如下特點(diǎn)：

1. 良好的成膜性能，膜厚均勻性高，≤3%

·對(duì)于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性；

· 膜厚可精準(zhǔn)控制達(dá)一個(gè)原子層；

· 大面積制程可達(dá)到無孔洞薄膜（Pin Hole free）

· *的重復(fù)性及穩(wěn)定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度）

2. 優(yōu)異的真空性能，真空度≤5Pa

3. 觸控操作，簡單易用；

·觸摸屏使用戶可以輕松設(shè)置配方或沉積過程，并檢查每個(gè)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)。

·可進(jìn)行自動(dòng)沉積，并在沉積完成后自動(dòng)完成N₂排放。
·手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動(dòng)完成。

4. 配件豐富，可滿足多種試驗(yàn)需求：

基底旋轉(zhuǎn)架、粉末樣品配件、手套箱、臭氧發(fā)生器、尾氣處理設(shè)備、200℃前驅(qū)體的加熱器，干式真空泵等；

ALD粉末樣品支架說明.gif

粉末沉積配件：傾斜框架可調(diào)整的角度為0 ~ 45°，更便于粉末成膜。單次可對(duì)5cm³的粉體進(jìn)行表面沉積；

SAL-1000配件.gif

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 手套箱觸摸屏臭氧發(fā)生器加熱器

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產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
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