采用L型移動橋式,由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌,左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋,提高了運(yùn)動質(zhì)心,減少了阿貝誤差
X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌
Z軸采用的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計,采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題,提高了測量機(jī)的精度和長期穩(wěn)定性
各運(yùn)動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強(qiáng)型同步帶,確保運(yùn)動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承,運(yùn)動更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損
三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um;同時采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時的線性伸縮
采用海克斯康為Function Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng),21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能,保證了大型機(jī)器的動態(tài)性能和測量精度
測量機(jī)三軸都配置溫度傳感器,實(shí)時監(jiān)控溫度變化,自動補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差
軟件為業(yè)界的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):