主要特征：
三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損
單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度及穩(wěn)定性
歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制
三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、準確
規(guī)格型號與技術(shù)指標：
三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損
單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu)，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度及穩(wěn)定性
歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um
控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制
三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、準確
規(guī)格型號與技術(shù)指標：
