納米模塊 NH
隨著納米科技和薄膜技術(shù)的發(fā)展（太陽能電池，cvd、pvd、dlc、MEMS等），納米尺度的機(jī)械性能測試趨向標(biāo)準(zhǔn)化。納米機(jī)械性能測試在傳統(tǒng)測試基礎(chǔ)上有了很大改進(jìn)，通過設(shè)計高寬徑比的探針測試更深更窄的溝槽，還實現(xiàn)低載荷，高空間分辨以及原位載荷-位移數(shù)據(jù)測量。
納米壓痕 — 參照ISO14577標(biāo)準(zhǔn)，選取單點/多點壓痕來測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應(yīng)力（馮米塞斯應(yīng)力，von Mises stresses）和接觸強(qiáng)度/剛度等。
納米劃痕 – 在接觸模式下，可根據(jù)用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。
動態(tài)壓痕 - 通過探針動態(tài)測量方法，檢測隨深度變化的損失模量以及存儲模量。
微米模塊 MH
微米機(jī)械性能測試已經(jīng)被應(yīng)用于檢測涂層和塊體材料的各種機(jī)械性能。微米機(jī)械性能測試儀勝于傳統(tǒng)測試方法，可以提供原位載荷-位移數(shù)據(jù)、應(yīng)用例如聲學(xué)發(fā)射檢測、ECR、摩擦檢測等信號來獲得綜合機(jī)械性能信息。
儀器化微米壓痕檢測——參照ISO14577標(biāo)準(zhǔn)，在毫米尺度（應(yīng)用超過2牛的載荷）以及微米尺度（低于2牛的載荷）下檢測涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量、張力、應(yīng)力（馮米塞斯應(yīng)力，von Mises stresses）和接觸強(qiáng)度/剛度等。
傳統(tǒng)維氏硬度和努普硬度參照ASTM E384.99標(biāo)準(zhǔn)，測量材料的顯微硬度。
微米劃痕—在接觸的模式下，可根據(jù)用戶自定義不斷增加載荷，檢測薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕黏附力。
