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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-04-25
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量224
  • 人氣值601
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伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供好的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含:德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機(jī),美國HVA 真空閥門,美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機(jī),離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為真空品牌**代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù), 使用原廠進(jìn)口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師;擁有*的拆解,維修,校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

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上海伯東日本適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實(shí)驗室研究的 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE.蝕刻均勻性: 5%, 硅 Si 刻蝕速率20 nm/min, 樣品臺: 直接冷卻(水冷)0~90 度旋轉(zhuǎn).Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源產(chǎn)生轟擊離子;終點(diǎn)檢出器采用 Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜分析儀監(jiān)測當(dāng)前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 產(chǎn)品詳情

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 產(chǎn)品優(yōu)勢:

Hakuto 離子蝕刻機(jī) 10IBE 主要優(yōu)點(diǎn)
1. 干式制程的微細(xì)加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導(dǎo)體元件, MR sensor 等領(lǐng)域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應(yīng)用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領(lǐng)域都可以被廣泛應(yīng)用.
3. 配置使用美國考夫曼離子源.
4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機(jī)構(gòu), 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機(jī)臺設(shè)計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.

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