Atonarp 過(guò)程控制質(zhì)譜儀 Aston™-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供好的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為真空品牌**代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

上海伯東代理日本 Atonarp 過(guò)程控制質(zhì)譜儀 Aston, 通過(guò)使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過(guò)程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!

Atonarp 過(guò)程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 產(chǎn)品詳情

Atonarp 過(guò)程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 技術(shù)規(guī)格：

實(shí)時(shí)過(guò)程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺(tái), 提供實(shí)時(shí), 可操作的數(shù)據(jù)
采用等離子體電離源, 無(wú)燈絲, 更耐用
可與大批量生產(chǎn)工具*集成
Aston™ 過(guò)程質(zhì)譜分析儀作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái), 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston™ 過(guò)程質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)

類型	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
型號(hào)	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
質(zhì)量分離	四級(jí)桿
真空系統(tǒng)	分子泵	分子泵隔膜泵	分子泵	分子泵隔膜泵	分子泵	分子泵隔膜泵
檢測(cè)器	FC /SEM
質(zhì)量范圍	2-285		2-220		2-285
分辨率	0.8±0.2
檢測(cè)限	0.1 PPM
工作溫度	15-35“℃
功率	350 W
重量	15 kg
尺寸	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp  Aston™ 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過(guò)程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
Aston™ 是一款全新設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過(guò)程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測(cè)和控制, 高定量精度和實(shí)時(shí)性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測(cè)分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控,診斷.
CVD / ALD: 氧化物-氮化物過(guò)渡及成分分析
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching:識(shí)別跟蹤分子
Aston™ 半導(dǎo)體在線質(zhì)譜儀應(yīng)用

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上海伯東: 葉小姐                                   中國(guó)臺(tái)灣伯東: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號(hào) )      M: +886-939-653-958

現(xiàn)部分品牌誠(chéng)招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東葉小姐 1391-883-7267
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關(guān)鍵詞：過(guò)程控制質(zhì)譜儀在線質(zhì)譜

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產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
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IKEIDARIKA池田理化質(zhì)譜儀RADIAN ASAP	￥600	深圳市	深圳市井澤貿(mào)易有限公司	2023-02-28	在線詢價(jià)
FAST ComTec質(zhì)譜儀 FAST ComTec 計(jì)數(shù)器模塊	面議	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2021-03-10	在線詢價(jià)
Thermo Scientific™ Stellar™質(zhì)譜儀	￥0.01	上海市	賽默飛色譜及痕量元素分析	2025-01-17	在線詢價(jià)
Orbitrap Astral高分辨質(zhì)譜儀	￥7500000	上海市	賽默飛色譜及痕量元素分析	2025-01-17	在線詢價(jià)

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