愛(ài)發(fā)科ICP刻蝕設(shè)備刻蝕系統(tǒng)NE-550EXz現(xiàn)貨,電極的刻蝕效果好,能夠進(jìn)行正確穩(wěn)定的刻蝕重點(diǎn)效果檢測(cè),具有維護(hù)便利、性能穩(wěn)定、產(chǎn)能優(yōu)良等特點(diǎn)。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
工藝重復(fù)性、穩(wěn)定性業(yè)界
解決了等離子體源天板IPC的問(wèn)題,搭載Star電極及多個(gè)ULVAC
可以正確且穩(wěn)定的檢測(cè)刻蝕終點(diǎn)
操作便利維護(hù)簡(jiǎn)單
搭載多個(gè)加熱機(jī)構(gòu)
更高的等離子體密度保證更好的刻蝕效果
搭載ULVACISM電極,等離子體密度高出常規(guī)ICP一個(gè)數(shù)量級(jí)