根據(jù)近樣、離子束刻蝕、蒸鍍、濺射、氧化等功能在不通腔體中實(shí)現(xiàn)方式,PLASSYS提供2腔體、3腔體、4腔體、5腔體的電子束蒸鍍及磁控濺射設(shè)備,并根據(jù)用戶的預(yù)算情況,PLASSYS可以提供電子束蒸鍍系列設(shè)備MEB550S, MEB550SL, MEB550S2, MEB550S2-I, MEB550S3, MEB550S4-I, MEB550SL3, MEB700S2-II, MEB700SL4, MEB700SL5等多種型號(hào)電子束蒸鍍?cè)O(shè)備,以及MP350S, MP600S、MPE550S, MP700S等型號(hào)磁控濺射設(shè)備。
目前包括物理所、清華大學(xué)、南方科技大學(xué)、蘇州納米所、上海微系統(tǒng)所、中科大、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、蘇州醫(yī)工所、長(zhǎng)春光機(jī)所、上海酸鹽研究所等單位均在使用相關(guān)設(shè)備;在國(guó)際上也獲得了美國(guó)(Yale Univ, Princeton Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon)、英國(guó)(Glasgow Univ)、德國(guó)(KIT Karlsruhe, Dresden Univ)、日本(NTT, RIKEN, Tokyo Univ)、加拿大(Waterloo Univ, Sherbrooke Univ)、法國(guó) (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN, Univ Geneva)、瑞士(ETH Zurich)、瑞典(Chalmers Univ)、俄羅斯(SKOLKOVO)、意大利(STMicroelectronics)等國(guó)家的機(jī)構(gòu)的高度認(rèn)可。