勻膠旋涂?jī)xSpin Coater 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB庫(kù)號(hào)：M406433 查看hh
一、設(shè)備用途和特點(diǎn)：
1、用途：主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗(yàn)收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗(yàn)
勻膠旋涂?jī)xSpin Coater 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB
庫(kù)號(hào)：M406433 查看hh
一、設(shè)備用途和特點(diǎn)：
1、用途：主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗(yàn)收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗(yàn)收試驗(yàn)要求。
2、特點(diǎn)：
（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省凈間的使用面積；（2）材質(zhì)易于清洗和維護(hù)，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維
修方便；（3）采用成熟、的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的性；
（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長(zhǎng)使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。
二、 設(shè)備配置明細(xì)
設(shè)備具體配置如下
POS. QTY. PART DESCRIPTION
項(xiàng)目號(hào) 數(shù)量 部件名稱 描述
1 1 勻膠機(jī)主機(jī) WS?650Mz?23NPPB
勻膠機(jī)主機(jī)
2 1 真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300
3 1 真空托盤 Spinner Chuck 50~150mm
勻膠托盤 50~150mm
4 1 真空托盤 Spinner Adapter 10~50mm
勻膠轉(zhuǎn)接托盤 10~50mm
5 1 系統(tǒng)附件 含密封圈若干、標(biāo)準(zhǔn)樣片、水平儀、連接管
若干
6 1 操作軟件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作軟件
7 1 安裝文檔 Installation Documents
安裝文檔
三. 設(shè)備技術(shù)資料
勻膠機(jī)臺(tái)
1． 系統(tǒng)概述
1.1智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作；
1.2防腐裝置；
1.3*設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過(guò)程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；
1.4通信接口，藍(lán)牙連接
2． 處理腔體
2.1處理腔體內(nèi)徑不小于 9.5 英寸 (241 毫米)；
2.2* Wafer 芯片尺寸至少滿足10?150mm 直徑的材料，方片125x125mm，
無(wú)需更換片托；
2.3腔體具有易清潔的 NPP 天然聚丙烯材質(zhì)；
3． 旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
3.1轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足 0?12,000rpm，
3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；
3.3馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不過(guò)±1%；4． 控制系統(tǒng)
4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足 1?5999.9 sec/step ，精度不過(guò) 0.1s；
4.2配有高精度 PLC 可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于 0.006%；
4.3可存儲(chǔ)不少于 20 個(gè)程序段，每個(gè)程序段可設(shè)置不少于 51 個(gè)不同步驟的速度狀態(tài)；
4.4*分辨率要小于 0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有標(biāo)準(zhǔn)，并且無(wú)需再校準(zhǔn)；
5． 配套泵浦
5.1配套真空泵系統(tǒng)：無(wú)油型 220~240 伏交流，50/60 赫茲；
5.2真空吸附范圍 25?28 英寸柱 (~635?711 毫米柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；
6． 系統(tǒng)附件
6.1*贈(zèng)送基于 Windows 的操作軟件；
6.2水平測(cè)試儀；
6.3兩袋密封圈；
*配有兩套可更換的廢液接收單元；
四.設(shè)備運(yùn)行條件
4?1．設(shè)備外圍條件要求
1. 環(huán)境要求
a) 無(wú)塵室 1000 級(jí)或者
b) 溫濕度 溫度：22±3°C°C
濕度：45 ~ 70%
c) 安裝維護(hù)距離 與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm
d) 設(shè)備尺寸以及重量 長(zhǎng)寬高：420mm x 380 mm x 290mm
重量：15kg
2. 電力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3. 動(dòng)力要求
a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮?dú)?60?70 PSI
c) 干燥空氣 60?70 PSI
五.售后服務(wù)
5?1. 設(shè)備保修期為設(shè)備驗(yàn)收合格后 1 年(保修期內(nèi)提供非人為因素?fù)p
壞的備件及服務(wù))，并長(zhǎng)期提供技術(shù)支持。
5?2 機(jī)器發(fā)生故障時(shí),供方在 24 小時(shí)內(nèi)明確回復(fù)。
5?3 如果未能解決問(wèn)題,供方工程師應(yīng)在 2 個(gè)工作日內(nèi)與用方達(dá)成故障解決
方案。
5?4 設(shè)備保修期內(nèi)，損壞的備件原則上賣方應(yīng)在 1 個(gè)工作日內(nèi)明確回復(fù)備
件的交貨期限。并當(dāng)供方倉(cāng)庫(kù)有備件庫(kù)存時(shí),在 1 個(gè)工作日內(nèi)寄出。
5?5 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)在收到買方定單后 1 個(gè)工作日內(nèi)明確回復(fù)備件
的交貨期限。
5?6 保修期結(jié)束后，供方應(yīng)優(yōu)惠供應(yīng)相關(guān)備件。涉及的相關(guān)技術(shù)服務(wù)盡量
解決，不可避免的收費(fèi)項(xiàng)目，賣方應(yīng)提供優(yōu)惠，屆時(shí)協(xié)商解決。
5?7 供方承諾向用方長(zhǎng)期優(yōu)惠供應(yīng)設(shè)備相關(guān)的耗材。
5?8 售后服務(wù)，人員安排由雙方協(xié)商確定。
5?9 針對(duì)中國(guó)客戶操作員頻繁更換的特點(diǎn)，公司每年提供所在城市的設(shè)備巡檢服務(wù)，檢查設(shè)備潛在故障和隱患，培訓(xùn)新操作人員。
