關(guān)鍵詞:?jiǎn)螌幽ぁ⒍鄬幽?、磁性膜、光學(xué)膜、金屬膜、絕緣膜、半導(dǎo)體膜
連續(xù)沉積、進(jìn)口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶
型號(hào):MP 900S 產(chǎn)地:歐洲 應(yīng)用:?jiǎn)螌幽?、多層膜、磁性?/span>
配置多個(gè)可更換金屬靶:Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN
襯底雙行星運(yùn)動(dòng),可加載4英寸襯底
LOAD LOCK及主腔體均配備分子泵和干泵
可沉積多層膜,可原位應(yīng)力檢測(cè)
應(yīng)用于X-射線等領(lǐng)域.
6個(gè)高度可調(diào)陰極磁控管
3個(gè)1.5kW直流靶,3個(gè)1kW射頻靶
氬氣、氧氣、氮?dú)鈿饴?,分別配備MFC
全自動(dòng)電腦控制,半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用,支持遠(yuǎn)程維護(hù)