NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為手動放片取片,但通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的臺式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優(yōu)勢。
NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點:
低成本
離子束:高達2KV/10mA
離子電流密度100-360uA/cm2
離子束直徑:4",5",6"
兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
極限真空5x10-7Torr
260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
14"不銹鋼或鋁質腔體
水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)
自動上下載片(NIE-3500)
基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
占地面積30"x30"
產(chǎn)品應用:
表面處理
離子銑
表面清洗
帶活性氣體的離子束刻蝕: 光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕