WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機
已經(jīng)積累了在多個客戶的量產(chǎn)線上連續(xù)運轉(zhuǎn)的實際業(yè)績,獲得了高度的評價。 |
4~8英寸用WAFER LINE |
特點、規(guī)格:
根據(jù)您的要求,還可制作以下規(guī)格的裝置。
· 半導體前工序的生產(chǎn)線設置用
裝置內(nèi)處理室清潔度3級(ISO)以上(在潔凈室內(nèi)組裝裝置)
SUS箱體、支持FOUP
· 高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點探頭設備相比,電子掃描式陣列探頭設備可以做到高速顯示。
(機械部分的運動少,也有助于保持清潔度)
支持晶圓 | 4~12英寸晶圓 |