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EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值482
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EVG鍵合機(jī)EVG805應(yīng)用:薄晶圓解鍵合一、簡介EVG805是半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成
EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī) 產(chǎn)品詳情

EVG鍵合機(jī)EVG805應(yīng)用:薄晶圓解鍵合

一、簡介

EVG805是半自動系統(tǒng)晶圓鍵合機(jī),用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離??梢詫⒈【A卸載到單個基板載體上,以在工具之間安全可靠地運輸。

二、EVG鍵合機(jī)特征

  • 開放式膠粘劑平臺
  • 解鍵合選項:
  • 熱滑解鍵合
  • 解鍵合
  • 機(jī)械解鍵合
  • 程序控制系統(tǒng)
  • 實時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)
  • 薄晶圓處理的功能
  • 多種卡盤設(shè)計,可支撐300 mm的晶圓/基板和載體
  • 高形貌的晶圓處理

三、EVG鍵合機(jī)技術(shù)數(shù)據(jù)

  • 晶圓直徑(基板尺寸):晶片300 mm、高達(dá)12英寸的薄膜
  • 組態(tài):1個解鍵合模塊

四、選件

  • 紫外線輔助解鍵合
  • 高形貌的晶圓處理
  • 不同基板尺寸的橋接能力


關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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