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CYG502超微型壓力傳感器

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-09-02
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量11
  • 人氣值65
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昆山雙橋傳感器測控技術(shù)有限公司是中科院昆山高科技產(chǎn)業(yè)園、國家火炬計(jì)劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè),成立于2001年,注冊資產(chǎn)600萬元,現(xiàn)總資產(chǎn)近1320萬元。公司以MEMS壓阻壓力傳感器為主導(dǎo)產(chǎn)品,兼及其它相關(guān)傳感器、變送器,自控儀表及系統(tǒng)的開發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司2002年評為江蘇省,2008昆山市33家通過復(fù)審的。公司2002年通過ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量管理體系的認(rèn)證,公司先后被評為蘇州市民營企業(yè)、全國民營科技企業(yè)創(chuàng)新獎(jiǎng)、江蘇省質(zhì)量信得過企業(yè)、昆山市科技研發(fā)中心、昆山市的;先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、國家發(fā)明優(yōu)秀獎(jiǎng)、科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)科技成果獎(jiǎng)、石油化工協(xié)會(huì)科技發(fā)明二等獎(jiǎng)、中國電子學(xué)會(huì)電子信息科學(xué)技術(shù)三等獎(jiǎng),蘇州市科技發(fā)明二等獎(jiǎng)、蘇州市科技進(jìn)步三等獎(jiǎng),蘇州市優(yōu)秀獎(jiǎng)、蘇州市產(chǎn)品等榮譽(yù)十余項(xiàng)。

雙橋公司是國內(nèi)開發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的幾個(gè)單位之一,是國內(nèi)較少的幾個(gè)堅(jiān)持從MEMS力敏芯片的設(shè)計(jì)、制造做起,因而具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),確立了以高、特、難、新MEMS壓力傳感器為企業(yè)主發(fā)展方向?,F(xiàn)有員工五十多人,研究生4人,大專以上文化36人,具有10年以上傳感器開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的高級技術(shù)人員6人,其中研究員級、博導(dǎo)4人。(從事研究開發(fā)的技術(shù)人員17人)

雙橋傳感器公司先后參與和承擔(dān)了國家863高技術(shù)研究發(fā)展重大專項(xiàng)、國家中小企業(yè)科技創(chuàng)新基金項(xiàng)目、江蘇省高技術(shù)研究項(xiàng)目、蘇州市科技攻關(guān)項(xiàng)目、昆山市科技攻關(guān)項(xiàng)目等國家、省、市各級科技項(xiàng)目十余項(xiàng)次。公司現(xiàn)擁有省*產(chǎn)品10項(xiàng),已發(fā)明15項(xiàng),實(shí)用新型7項(xiàng),軟件著作權(quán)3項(xiàng);申請并已受理累計(jì)30項(xiàng),其中發(fā)明21項(xiàng),國防發(fā)明2項(xiàng)。

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標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。
CYG502超微型壓力傳感器 產(chǎn)品詳情

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的化,把整個(gè)芯片尺寸縮小到1×1mm大小,而輸出靈敏度仍可達(dá)到100kpa的量程,為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

把傳統(tǒng)設(shè)計(jì)中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合,改善了熱匹配效果,減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品,表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形,標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm,長度為18mm,傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此,它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性,不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū),可達(dá)-55℃~+120℃,也有著非常優(yōu)秀的高頻動(dòng)態(tài)特性,其量程的敏感元件的固有頻率>200kHz,上升時(shí)間為亞微秒。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級非線性精度
±%FS
遲滯重復(fù)性
%FS
零位溫度系數(shù)
×10-4FS /℃
靈敏度溫度系數(shù)
×10-4FS /℃
零位時(shí)漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、滿量程輸出:  最小值30mv   典型值80mv   值130mv

3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ  典型值5 kΩ  值7 kΩ

4、輸入工作電流:1.5mA(表壓型)1mA(絕壓型)(恒流源)

5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃

6、補(bǔ)償溫度范圍:-10℃~+80℃

7、過載能力:    額定量程的200%

8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g

9、外形尺寸圖:  CYG502A

image.png

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