標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸最小的壓力傳感器。
CYG502的壓力敏感元件采用的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的化,把整個(gè)芯片尺寸縮小到1×1mm大小,而輸出靈敏度仍可達(dá)到100kpa的量程,為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。
把傳統(tǒng)設(shè)計(jì)中的硅–玻璃鍵合改為硅–硅鍵合,改善了熱匹配效果,減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。
目前已面市品種有絕壓型測量模式產(chǎn)品,表壓型正在研制中。
CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形,標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm,長度為18mm,傳感器的可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。
CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此,它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性,不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū),可達(dá)-55℃~+120℃,也有著非常優(yōu)秀的高頻動(dòng)態(tài)特性,其量程的敏感元件的固有頻率>200kHz,上升時(shí)間為亞微秒。
1、性能指標(biāo)參數(shù)
指標(biāo)/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時(shí)漂 <mv/8h |
JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出: 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流:1.5mA(表壓型)1mA(絕壓型)(恒流源)
5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃
6、補(bǔ)償溫度范圍:-10℃~+80℃
7、過載能力: 額定量程的200%
8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g
9、外形尺寸圖: CYG502A