作為德國PE公司中國區(qū)域代理,裕隆時(shí)代向用戶提供基于可靠技術(shù)的掃描透射電子束感應(yīng)電流分析系統(tǒng)STEBIC。
STEBIC掃描透射電子束電性失效分析系統(tǒng)
相比普通EBIC
基于更*的薄片技術(shù),STEBIC擁有更高的空間分辨率
將STEM電鏡和EBIC功能互相結(jié)合,為用戶提供更廣闊的的研究手段
相比電子全息成像系統(tǒng)
無需預(yù)先設(shè)置真空系統(tǒng)
無需圖像重建系統(tǒng)
直接解讀圖像信息
相比樣品電流放大器
更高的圖像獲取速度和更短的像素貯存時(shí)間(dwell time)
內(nèi)置IV掃視用偏壓電源
自動(dòng)計(jì)算像素定量
有效提升定量測量功能
常規(guī)化電子束電流
直接進(jìn)行樣品間的對比
復(fù)合強(qiáng)度測量
離散強(qiáng)度測量
提升偏壓功能
常規(guī)電鏡操作條件下即可成像
確定薄片間電子關(guān)聯(lián)
檢查IV掃視下電子束對樣品造成的損壞
在相關(guān)聯(lián)的地方,進(jìn)行電子束吸收電阻變化EBIRCh測量
STEBIC掃描透射電子束電性失效分析系統(tǒng)
厚度測量
Si的pn結(jié), 由FIB制樣
重點(diǎn)觀測
EBIC/EBAC的信號(hào)重疊
直接關(guān)聯(lián)HAADF
離散強(qiáng)度測量
應(yīng)用案例
SiGe納米線
敬請聯(lián)系
北京裕隆時(shí)代科技有限公司