SuperViewW1-Pro三維輪廓形貌測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理的一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為200×200㎜，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件；測量大尺寸樣品時支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。
結(jié)果組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
形貌儀主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。
SuperViewW1-Pro三維輪廓形貌測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計，隔離地面震動與噪聲干擾。
