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NS200 國產(chǎn)臺階儀

參考價訂貨量

600000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號NS200
  • 品牌中圖儀器
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2024-08-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限5
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1804
  • 人氣值193268
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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


圖片1500.jpg


中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支集光、機、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊,歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐,研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點遍及全國三十多個省、市、自治區(qū),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品和服務(wù)。


中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量!

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
NS200國產(chǎn)臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準(zhǔn)確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;可以測量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測量在生產(chǎn)中包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。
國產(chǎn)臺階儀 產(chǎn)品詳情

臺階儀用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量,可以進(jìn)行臺階高度、膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。NS200國產(chǎn)臺階儀中圖儀器股份有限公司擁有知識產(chǎn)權(quán)的一款微納測量儀器,儀器采用亞米級分辨率的位移傳感器、超低噪聲信號采集、超精細(xì)的運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),具有優(yōu)良的使用性能。


測量過程

儀器通常使用2μm半徑的金剛石針尖來掃描被測樣品表面,通過一個超精密的載物臺在測針下移動樣品,測針的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對應(yīng)的電信號。然后將這些電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式,數(shù)據(jù)點可以顯示在計算機屏幕上并進(jìn)行操作以確定有關(guān)表面的各種分析信息??梢晕⒄{(diào)掃描長度和掃描速度,以增加或減少分析時間和分辨率。此外,測力可以變化以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。


國產(chǎn)臺階儀


性能特點

1、重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿足被測件測量精度要求。

單拱龍門式設(shè)計,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,提高了測量精度。

線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2、超微力恒力傳感器: 1-50mg可調(diào)。

傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量。測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。

3、超平掃描平臺。

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細(xì)微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

4、頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機。

系統(tǒng)配備500萬像素高分辨率彩色攝像機,即時進(jìn)行高精度定位測量。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,使測量更加直觀。

5、全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺。

精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,可以對樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整,提高測量效率 。

6、數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)。


NS200國產(chǎn)臺階儀能夠測量幾個納米到330μm的臺階高度。這使其可以準(zhǔn)確測量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑;能夠測量在生產(chǎn)中包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。


典型應(yīng)用


技術(shù)參數(shù)

技術(shù)測量:探針式表面輪廓測量技術(shù)

樣品觀測:光學(xué)導(dǎo)航攝像頭:500萬像素高分辨率 彩色攝像機,F(xiàn)oV,1700*1400μm

平臺移動范圍X/Y:電動X/Y(100mm*100mm)(可手動校平)


最大樣品厚度:50mm

載物臺最大晶圓尺寸:150mm(6吋),200mm(8吋)


臺階高度重復(fù)性:<1nm(測量1μm臺階高度,1δ)

垂直分辨力:分辨力<0.25 ?(量程為13um時)


儀器尺寸: 640*626*534(mm)

儀器總重量:<50kg

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產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
國產(chǎn)高精度臺階儀 ¥600000 深圳市 深圳市中圖儀器股份有限公司 2025-01-15 在線詢價
中圖儀器國產(chǎn)臺階儀 ¥600000 深圳市 深圳市中圖儀器股份有限公司 2025-01-07 在線詢價
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