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Transpector MPH 殘余氣體分析儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-02-13
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限7
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量107
  • 人氣值1617
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商,我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案,解決客戶真空應(yīng)用的難題,并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產(chǎn)品如下:

瑞士Inficon (英??担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計(jì)、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。
英國Edwards (愛德華)旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。
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美國MKS質(zhì)量流量控制器。
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Transpector MPH 殘余氣體分析儀Transpector MPH 殘余氣體分析儀監(jiān)控您的過程的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)最長運(yùn)行時(shí)間持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能,有助于限度地提高芯......
Transpector MPH 殘余氣體分析儀 產(chǎn)品詳情

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監(jiān)控您的過程

的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)最長運(yùn)行時(shí)間

持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此,在半導(dǎo)體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能,有助于限度地提高芯片產(chǎn)量,降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時(shí)間的特性,有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON
發(fā)揮其在氣體分析過程控制設(shè)備領(lǐng)域的專長,制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、可檢測分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。


功能

  • 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場更換電子倍增器
  • 組合陽極、陰極和反射極絲極套件
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型號(hào))
  • 信噪比更高
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進(jìn)行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類型 MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
傳感器長度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質(zhì)量范圍 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
檢測器類型 FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
靈敏度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
靈敏度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
最小可檢測分壓 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
傳感器工作溫度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
傳感器工作溫度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
絲極類型選件 (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
絲極類型選件 (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分辨率(整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
溫度系數(shù) <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
零沖擊(@ 質(zhì)量 2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
工作壓力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度 °C°F 300 300 300 300 300 300
功率輸入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 用于普通應(yīng)用

(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用

(3) 位于峰值高度的 10%

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