超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測，能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可有效滿足新能源、半導(dǎo)體、電力電子、熱管理材料、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等行業(yè)需求。
1、 具備A（點(diǎn)掃描）、B（縱向掃描）、C（橫向掃描），Tray-托盤掃描等系列掃描模式。
2、 具備定量測分析功能，以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置、形狀和大小，并進(jìn)行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計(jì)，自動計(jì)算缺陷占所測量面積的百分比；具備缺陷尺寸標(biāo)識；厚度與測距等功能。
3、 適用于單個器件的快速掃描分析，也可批量放置樣品同步進(jìn)行缺陷識別，快速篩選出不合格品。
4、 可兼容1~25MHz的超聲探頭。
5、 檢測軟件自主研發(fā)，中英文界面，可根據(jù)客戶需求對功能進(jìn)行持續(xù)升級。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 序號 | 機(jī)電特性 | 規(guī)格型號 |
| 1 | 整機(jī)尺寸 | 600mm×650mm×500mm |
| 2 | 水槽尺寸 | 300mm×220mm×120mm |
| 3 | 有效掃描范圍 | 200mm×25mm×50mm |
| 4 | 掃描速度 | 300mm/s |
| 5 | 超聲探頭 | 可兼容1~25MHz的超聲探頭。 |
| 6 | 定位精度 | X/Y≤±1μm，Z≤±10μm |
| 7 | 重復(fù)定位精度 | X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm |
產(chǎn)品主要配置：
| 序號 | 名稱 | 規(guī)格 |
| 1 | 掃描系統(tǒng) | X、Y軸：伺服電機(jī)驅(qū)動；Z軸：步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動； |
| 2 | 水槽 | 300mm x 220mm x 120 mm |
| 3 | 超聲發(fā)射、接收器 | 帶寬1-30MHz |
| 4 | 高速數(shù)據(jù)采集卡 | 采樣頻率 100MHz |
| 5 | 工控機(jī) | i5處理器、內(nèi)存4GB、硬盤1T、Win7 32位操作系統(tǒng)。 |
| 6 | 顯示器 | 21.5"液晶顯示器一個 |
| 7 | 上下水系統(tǒng) | 手動控制水槽系統(tǒng)的注排水過程（選配） |
| 8 | 檢測軟件 | 和伍超聲無損檢測軟件 |
行業(yè)應(yīng)用：
適用于電器焊接件、陶瓷材料等領(lǐng)域的缺陷檢測。
