晶圓玻璃厚度測量儀

1: 批量設(shè)置元素的公差帶及名義值.

在設(shè)置元素的公差帶和名義值時，不用一個元素一個元素的設(shè)置，這樣效率很低，可一次性批量設(shè)置公差帶和名義值，提高效率.

2: 可建立多重工件座標(biāo)系。并可以建立多重Z軸座標(biāo)系。

晶圓玻璃厚度測量儀可以建立多重工件座標(biāo)系。并可以在多個不同的Z軸平面上建立不同的Z軸座標(biāo)系，這對有臺階的工件，且不同的臺階厚薄不一時，非常有用。

當(dāng)建立多重工件座標(biāo)系時，測量的數(shù)據(jù)的可以在哪一個座標(biāo)系測量的，就顯示哪一個座標(biāo)系下的數(shù)據(jù)，也可以只顯示在當(dāng)前座標(biāo)系下。

3：大半徑小圓弧的精準(zhǔn)測量

軟件創(chuàng)新算法，可以精準(zhǔn)測量大半徑小圓弧，特別是小于45度的小圓弧，能作到精準(zhǔn)測量，解決了業(yè)界的一大難題。

4：符合國家標(biāo)準(zhǔn)的形位公差計算能力。

可以計算直線度，圓度，位置度，輪廓度，平行度，傾斜度，垂直度，同心度，對稱度。

5：功能強大的自定義報表功能。可以按客戶的報表要求，輸出報表

6:  快速精準(zhǔn)的影像對焦功能。一次對焦動作，最快可以1秒完成。如果對焦時間設(shè)到2到3秒。對焦重復(fù)性可達0.002mm----0.003mm

7：可以在運行程序的過程中暫停執(zhí)行程序，并對某誤抓的元素修改后，繼續(xù)向下測量

8：可以運行的程序步聚并將相應(yīng)的數(shù)據(jù)發(fā)送到相應(yīng)的EXCEL中。比如，當(dāng)程序運行結(jié)果后，發(fā)現(xiàn)第5步，第8步，第23步超差，可以讓機器重新測量一次第5,8,23步，并將對應(yīng)的數(shù)據(jù)發(fā)送到EXCEL中。