12寸晶圓片3d輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)配置
1）SuperView W2主機(jī)
2）影像系統(tǒng)：1024×1024；
3）光學(xué)Zoom：1×；
4）XY位移載物臺(tái)：自動(dòng)位移臺(tái)；
5）物鏡轉(zhuǎn)盤：3孔手動(dòng)
5）品牌計(jì)算機(jī)；
6）校準(zhǔn)模塊；
7）操縱手柄；
8） 3D表面輪廓儀軟件一套；
9）電氣控制柜；
10）儀器配件箱；
11）便攜加壓充氣裝置一套；
12）產(chǎn)品使用說明書；
13）產(chǎn)品合格證、保修卡；
可選配置：
1） 干涉物鏡：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×
2） 自動(dòng)光學(xué)變倍目鏡： 0.5×、1×、2×
3） 真空吸附臺(tái)(半導(dǎo)體晶圓片專用)：6寸、8寸、12寸
4） 自動(dòng)測量拼接測量功能模塊（須硬件支持）
5） 物鏡轉(zhuǎn)盤：5孔電動(dòng)
12寸晶圓片3d輪廓測量儀參數(shù)表
標(biāo)準(zhǔn)名 | 參數(shù) | |||
ISO 4287-1997 | 主剖面 | 粗糙度 | 波紋度 | |
振幅參數(shù) | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku | |
間距參數(shù) | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
物料比參數(shù) | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
峰值參數(shù) | PPc | RPc | WPc | |
ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
ISO 12085 | 粗糙度圖形參數(shù) | R,AR,R× ,Nr | ||
波紋度圖形參數(shù) | W,AW,W×,Wte | |||
其他圖形參數(shù) | Rke,Rpke,Rvke | |||
AMSE B46.1 | 2D參數(shù) | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
DIN EN ISO 4287-2010 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
JIS B0601-2013 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
GBT 3505-2009 | 原始輪廓參數(shù) | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
粗糙度參數(shù) | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
波紋度參數(shù) | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
產(chǎn)品應(yīng)用范圍
