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  • 晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機

晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2023-03-28
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數(shù)量100
  • 人氣值564
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PLS-F1000/F1002是一款專門測量晶圓厚度、TTV,Bow,Warp,TIR,Sori,Sag,LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機 產品詳情

PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。

1、適用晶圓 Wafer Size

? 4寸、6寸、8寸、12寸晶圓

2、檢測內容與結果輸出 Measurements &Export

? 檢測內容:TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sori, Sag, LTV(Fullmap測試)

3、檢測關鍵指標 Measurement Key Capability

? 產能(4寸、4線米字):280WPH

? 晶圓厚度測試范圍:20um~2500um

? 檢測分辨率:0.002um

? 重復性:3σ≤0.1um

? Bow/Warp 重復性 : 3σ≤0.5um

? 選配 OCR 識別 尋邊功能 MEMS等擴展

? 具光譜共焦雙探頭對射傳感器以及紅外干涉點傳感器厚度測量技術

? 可依需求提供客制單機 wafer mapping 機

4、適用范圍 Film Size &Applied Situation

? 白膜、藍膜、黑膜及多層復雜薄膜結構

? 可用于50mm到450mm晶圓及基底,也可根據(jù)需求定制

? 應用范圍包括刻蝕、化學氣相沉積、光刻、化學機械拋光和晶圓鍵合等工藝段的測量

紅外干涉中心點與邊緣各層厚度實時畫面

紅外干涉中心點與邊緣各層厚度實時畫面

晶圓形貌檢測結果三維圖

晶圓形貌檢測結果三維圖


關鍵詞:傳感器
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