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PLS-F1000:晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī)

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  • 型號(hào)
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  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2023-03-28
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值562
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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一、設(shè)備簡(jiǎn)介1、應(yīng)用范圍自動(dòng)晶圓幾何形貌及參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量,結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC以及Si等
PLS-F1000:晶圓幾何形貌測(cè)量及參數(shù)自動(dòng)檢測(cè)機(jī) 產(chǎn)品詳情

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

1、應(yīng)用范圍

自動(dòng)晶圓幾何形貌及參數(shù)檢測(cè)系統(tǒng)使用高精度高速光譜共焦雙探頭對(duì)射傳感器實(shí)現(xiàn)晶圓的非接觸式測(cè)量,結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)模組及晶圓機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級(jí)精度的測(cè)量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實(shí)現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)?nèi)容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 測(cè)試)。

2、檢測(cè)原理

設(shè)備系統(tǒng)白色光源用于照亮零件表面。如圖所示,光通過光纖從控制單元傳輸?shù)焦鈱W(xué)傳感器,該傳感器根據(jù)波長(zhǎng)將光分為不同的焦距。根據(jù)反射光的波長(zhǎng),進(jìn)行納米級(jí)高精度距離測(cè)量。光學(xué)傳感器性能決定測(cè)量范圍。由于探頭的高數(shù)值孔徑和光學(xué)傳感器的動(dòng)態(tài)范圍,可以在多種材料上進(jìn)行測(cè)量。檢測(cè)原理如圖 1-1 所示。通過將上下探頭間的標(biāo)準(zhǔn)塊進(jìn)行手次厚度校準(zhǔn)后,就可以進(jìn)行厚度測(cè)量。

3、光譜共焦測(cè)量原理

光譜共焦測(cè)量原理

二、設(shè)備規(guī)格

1、整體基本結(jié)構(gòu)

測(cè)控系統(tǒng)的硬件由高精度 X-Y 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、晶圓機(jī)械手、數(shù)據(jù)獲取與檢測(cè)模組、檢測(cè)控制系統(tǒng)以及自動(dòng)上下料系統(tǒng)組成。

PLS-F1000設(shè)備外觀圖

PLS-F1000設(shè)備外觀圖

2、基本技術(shù)規(guī)格說明:

設(shè)備基本技術(shù)規(guī)格

部 件

規(guī) 格

對(duì)射式光譜共焦檢測(cè)系統(tǒng)

l 兩個(gè)光譜共焦傳感器

l 橫向分辨率 4um

l 分辨率 3nm

l 蕞大采樣頻率 10kHz

X-Y 自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

l 定制水平載物臺(tái),蕞大 350mm*350mm

l 平臺(tái)平整度 < 1.5μm/100mm

l 平臺(tái)蕞大移動(dòng)速度 > 100mm/s

l 支持 4-8 寸的載具平臺(tái),可替換的 12 寸載具平臺(tái)

自動(dòng)上下料與分選系統(tǒng)

l 高速晶圓機(jī)器人上下料系統(tǒng)

l 2 進(jìn) 2 cassettes 結(jié)構(gòu)(Open Cassettes)

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

l 定制檢測(cè)軟件系統(tǒng),包含數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng),支持

PDF 報(bào)告和 Excel 報(bào)告導(dǎo)出

l 帶通訊端口對(duì)接MES 系統(tǒng)或其他數(shù)據(jù)系統(tǒng)

其他

l 使用手冊(cè)

l 含安裝調(diào)試和使用培訓(xùn)服務(wù)

3、設(shè)備性能指標(biāo)

以下為設(shè)備的主要性能參數(shù)與指標(biāo):

設(shè)備產(chǎn)能指標(biāo)


十字

米字

Mapping

4 寸

280WPH

240WPH

120WPH

6 寸

240WPH

200WPH

90WPH

8 寸

180WPH

120WPH

60WPH

12 寸

120WPH

80WPH

30WPH


檢測(cè)關(guān)鍵指標(biāo)參數(shù)如下:

設(shè)備關(guān)鍵參數(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目

關(guān)鍵指標(biāo)參數(shù)

晶圓厚度測(cè)試范圍

50um~2500um

厚度 TTV 檢測(cè)精度

±0.15um

厚度 TTV 檢測(cè)重復(fù)性

σ ≤ 0.2um

Bow/Warp 檢測(cè)精度

±0.8um

Bow/Warp 檢測(cè)重復(fù)性

σ ≤ 1um

準(zhǔn)確性

l (對(duì)標(biāo) FRTBow/Warp 線性 ≥ 90%

l (對(duì)標(biāo) FRTThickness/TTV/TIR 線性 ≥ 90%


軟件系統(tǒng)功能

測(cè)控系統(tǒng)安裝在 Windows 系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)上,并配置磚用控制軟件。測(cè)控系統(tǒng)軟件主要由系統(tǒng)控制模塊(包含定位、校準(zhǔn)及自動(dòng)上下料及分選、晶圓關(guān)鍵尺寸測(cè)量模塊和數(shù)據(jù)處理與輸出模塊三部分組成。分為模式與操作工簡(jiǎn)易操作模式兩種。易于現(xiàn)場(chǎng)操作和數(shù)據(jù)結(jié)果獲取??梢愿鶕?jù)需求設(shè)定報(bào)警與分選特定方式。


系統(tǒng)功能設(shè)計(jì)

功能模塊

功能設(shè)計(jì)

系統(tǒng)控制模塊

l 平臺(tái)定位控制系統(tǒng);

l 自動(dòng)上下料操作控制

l 平臺(tái)控制與檢測(cè)路徑規(guī)劃控制系統(tǒng)

晶圓關(guān)鍵尺寸檢測(cè)模塊

l 控制紅外干涉?zhèn)鞲衅鲾?shù)據(jù)校準(zhǔn)系統(tǒng)

l 控制傳感器切換 recipe 及其設(shè)定系統(tǒng)

l 晶圓數(shù)據(jù)獲取與預(yù)處理系統(tǒng)

數(shù)據(jù)處理模塊與輸出

l 定制檢測(cè)軟件系統(tǒng),包含數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng),支持 PDF 報(bào)告Excel 報(bào)告導(dǎo)出(可選配打印系統(tǒng))

l 帶通訊端口對(duì)接 MES 系統(tǒng)


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產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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