項(xiàng)目 | 最小值 | 典型值 | 值 | 單位 |
---|---|---|---|---|
頻率 | 2450 | MHz | ||
頻率誤差 | ±50 | ppm | ||
微波泄露 | 2 | mW/cm2 | ||
功率穩(wěn)定度 | 1 | 3 | % | |
輸出功率范圍 | 10000 | W | ||
輸出功率調(diào)節(jié)范圍 | 10 | 10000 | W | |
整機(jī)效率 | 58 | % |
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- 接口定義
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電源輸入(Power):三相五線制交流,線電壓380V,頻率50-60HZ,每相電流16A;
RF輸出接口:BJ26波導(dǎo);
控制接口(Opration):DB9、RJ45;
進(jìn)/出水口:3/4"內(nèi)螺紋(功放部分)1/2"內(nèi)螺紋(電源部分);
- 功能特征
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控制:設(shè)備工作狀態(tài)和參數(shù)設(shè)置,可遠(yuǎn)程查看工作狀態(tài)信息,可遠(yuǎn)程配置工作參數(shù);
報(bào)警:輸出功率、駐波、電流、溫度,可遠(yuǎn)程查看報(bào)警信息;
保護(hù):輸出駐波比過(guò)大、過(guò)溫、過(guò)功率、過(guò)電流,系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)斷射頻輸出;
- 應(yīng)用范圍
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MPCVD,等離子體材料生長(zhǎng)、清洗,工業(yè)材料處理、加熱,大功率微波光源,粒子加速