CS-4 | 4" 精密I-V測(cè)試測(cè)量探針臺(tái)系統(tǒng)
特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ 滿足I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等
◆ 可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試
◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)
◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用
◆ 形狀輕巧,操作方便,價(jià)格實(shí)惠
臺(tái)體規(guī)格
尺寸 | 4英寸/6英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動(dòng)行程 | 4英寸*4英寸 |
X-Y移動(dòng)精度 | 10微米 |
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) |
針座平臺(tái) | U型針座平臺(tái),最多可放置6個(gè)探針座 |
背電極測(cè)試 | 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長(zhǎng)*400mm寬*500mm高 |
重量 | 約25千克 |
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X |
移動(dòng)行程 | 水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm |
光源 | 外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
CCD | 200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素 |
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動(dòng)精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 |