Chroma 7503
Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀乃利用掃描白光干涉技術(shù)所發(fā)展之次納米三維光學(xué)輪廓量測(cè)儀，透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)以及創(chuàng)新算法進(jìn)行微奈米結(jié)構(gòu)物表面輪廓的量測(cè)與分析。并可依據(jù)需求搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測(cè)，使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測(cè)功能，達(dá)到一機(jī)多用途的目的。
Chroma 7503新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)，具備高度彈性之組合配置，可針對(duì)不同之量測(cè)需求配置來(lái)符合不同之量測(cè)應(yīng)用：搭載電動(dòng)鼻輪，最多可同時(shí)掛載5種物鏡，使用時(shí)直接切換，省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測(cè)與分析，使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。
Chroma 7503之高度分辨率可達(dá)0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測(cè)掃描行程更可達(dá)到100mm，且水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此Chroma 7503 可透過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測(cè)范圍可達(dá)到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍測(cè)量的特質(zhì)。
Chroma 7503系統(tǒng)配備自動(dòng)化掃描平臺(tái)，由垂直軸自動(dòng)化移動(dòng)平臺(tái)的掃描功能搭配快速的自動(dòng)對(duì)焦算法，可有效輔助用戶找到的對(duì)焦位置，另外通過(guò)傾斜調(diào)整平臺(tái)可快速地將待測(cè)物調(diào)平，在短短的幾秒鐘之內(nèi)無(wú)需繁復(fù)的操作，系統(tǒng)即可自動(dòng)將待測(cè)物體調(diào)整至對(duì)焦位置并予以調(diào)平進(jìn)行量測(cè)。
目前商用白光干涉分析儀使用之質(zhì)心算法來(lái)計(jì)算表面高度，因光線繞射的效應(yīng)在某些位置產(chǎn)生錯(cuò)誤高度計(jì)算，造成量測(cè)結(jié)果邊界輪廓出現(xiàn)錯(cuò)誤的信息，本系列產(chǎn)品采用開發(fā)3D Profiler Master量測(cè)軟件，并搭配Chroma干涉訊號(hào)處理算法來(lái)分析白光干涉圖譜，可將邊界錯(cuò)誤問(wèn)題予以避免。此外，系統(tǒng)亦搭載Chroma的暗點(diǎn)處理功能，可有效過(guò)濾并修正無(wú)法產(chǎn)生干涉之問(wèn)題數(shù)據(jù)點(diǎn)，將這些暗點(diǎn)去除后可降低量測(cè)上的誤差。由于暗點(diǎn)處理的機(jī)制在資料擷取期間執(zhí)行，因此暗點(diǎn)濾除功能可有效率的執(zhí)行，由于暗點(diǎn)乃參考其附件周圍數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行修正，因此可使得量測(cè)更加強(qiáng)固且可靠。
STA (Surface Texture Analysis) Master軟件針對(duì)表面輪廓數(shù)據(jù)分析、修正以及圖標(biāo)提供完整的面形貌呈現(xiàn)，更提供超過(guò)150種線或面的輪廓參數(shù)計(jì)算，其中包含粗度、起伏、平整度、頂點(diǎn)與谷點(diǎn)等參數(shù)資料，高通濾波、低通濾波、快速傅立葉變換以及尖點(diǎn)移除空間濾波等工具提供使用者進(jìn)行高/低/帶通訊號(hào)濾除，且軟件亦具備多項(xiàng)式擬合、區(qū)域成長(zhǎng)、整面及多區(qū)域調(diào)平方法，可靈活運(yùn)用于數(shù)據(jù)處理與分析上。
在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能，在其制程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測(cè)。有鑒于此，Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。
Chroma 7503兼具2D與3D量測(cè)，搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能能應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模塊化設(shè)計(jì)，可依客戶端實(shí)際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配，讓用戶可在價(jià)格與功能規(guī)格之間取得平衡，是您提升效率及節(jié)省成本的。
