巖田無油渦旋式干泵ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000
。 目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學(xué)工業(yè)的發(fā)展迅速,對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求,巖田推出了ISP系列渦旋式真空泵。
1、ISP系列真空泵特點:
·可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產(chǎn)品ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000;
·高極限真空,***可達0.01mbar;
·低噪聲;
·低振動;
·允許進氣壓力大;
·重量輕;
·能耗低;
2、應(yīng)用范圍:
·電子束焊接;
·激光;
·檢漏系統(tǒng);
·加速器/同步加速器;
·表面分析儀;
·STM’s;
·ELMI;
·小型渦輪泵組;
·搬送室;