巖田無油渦旋式干泵ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000
目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學(xué)工業(yè)的發(fā)展迅速,對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求,巖田推出了ISP系列渦旋式真空泵。
1、ISP系列真空泵特點(diǎn):
可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產(chǎn)品ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000;
高極限真空,***可達(dá)0.01mbar;
低噪聲;
低振動;
允許進(jìn)氣壓力大;
重量輕;
能耗低;
2、應(yīng)用范圍:
電子束焊接;
激光;
檢漏系統(tǒng);
加速器/同步加速器;
表面分析儀;
STM’s;
ELMI;
小型渦輪泵組;