位置靈敏探測器PSD （Position Sensitive Device） 屬于半導體器件, 一般做成PN結(jié)構(gòu),具有高靈敏度、高分辨率、響應速度快和配置電路簡單等優(yōu)點。其工作原理是基于橫向光電效應。位置靈敏探測器作為新型器件, PSD 已經(jīng)被廣泛應用在位置坐標的測量上, 如: 兵器制導和跟蹤、工業(yè)自動控制、或位置變化等技術領域上.

分節(jié)PSD

這類PSD的基底通常分成兩節(jié)或四節(jié)（分別對應一維或二維測量）。如果光斑停在中心位置，對稱的光斑會在所有的節(jié)上產(chǎn)生相等的光電流。通過簡單測量各節(jié)的輸出電流，可以得到相對的位置信息。由于各單元之間的響應匹配，它們提供的位置分辨率優(yōu)于0.1um，度也比橫向效應的PSD高。與橫向效應PSD不同的是，分節(jié)PSD的位置分辨率與系統(tǒng)的信噪比無關，因此它可以探測非常微弱的光信號。它們展示了基于時間和溫度條件下的穩(wěn)定性，以及脈沖應用所需的快速時間效率。然而，它們也受一些因素的限制，比如光斑必須在任何時間疊加在所有的節(jié)上，它不能小于各節(jié)之間的條帶寬度。同時，正確的測量、均勻的光斑密度分配也是很重要的。它們是調(diào)零應用和光束準直應用的器件。分節(jié)PSD產(chǎn)品包括二像素系列，四像素系列，紫外增強型系列

橫向效應PSD

橫向效應PSD采用連續(xù)的平面擴散型光電二管，沒有條帶或盲區(qū)。這類PSD直接讀出整個有效區(qū)域下的光斑位移量。在探測器有效區(qū)域上，光斑的位置和密度信息與模擬輸出量直接成正比，通過這一輸出就可以獲得位移量。照在有效區(qū)域上的光斑會產(chǎn)生光電流，光電流流過入射點，穿過電阻層，進入接觸層。入射點與接觸層之間的電阻與光電流成反比。當光斑正好照到器件位置，會產(chǎn)生相同的電流信號。當在有效區(qū)域上移動光斑，接觸層產(chǎn)生的電流大小，會確定光斑正確的瞬態(tài)位置。這些電信號與從中心到光斑的位置成比例關系。

橫向效應光電二管的主要優(yōu)勢在于它們寬的動態(tài)范圍。它們能測量到探測器邊緣的所有光斑位置。它們與光斑形狀、密度分布無關，而這一點會影響分節(jié)光電二管的位置讀取。輸入的光束可以是任何的尺寸和形狀，這是因為電氣輸出信號由光斑位置重心指示，而輸出與到中心的位移量成正比。器件的位置分辨率優(yōu)于0.5um。分辨率取決于探測器/電路信號與噪聲的比值。

兩種橫向效應PSD：二元橫向結(jié)構(gòu)和四元橫向結(jié)構(gòu)。所有的結(jié)構(gòu)都可以以一維和二維形式排列。

二元橫向PSD：它有兩個電阻層，一個在光電二管頂部，另一個在底部。在每一層，光電流都被分成兩部分。這種結(jié)構(gòu)能分辨小于0.5um的光斑移動，并且有非常小的位置探測誤差，幾乎可以到有效區(qū)域的邊界。它們也展示了在整個有效區(qū)域上良好的位置線性度。

四元橫向PSD：只有一個電阻層，針對一維或二維感應時，光電流被分別分成兩部分或四部分。與二元橫向型相比，這些器件在離中心較遠處的位移非線性較大，即較大的位置探測誤差

一維PSD探測器

一維PSD探測出一個亮點移動在它的在一個*方向的表面。入射光引起的光電流流經(jīng)設備，作為輸入偏壓電流被劃分成二個輸出電流。輸出電流的分布顯示出探測器的光斑的位置。

一維探測器從2.5*0.6mm2'> ---60.0*3.0mm2'> 可選，上升時間為0.3us---4.5us。

二維PSD探測器

二維PSD探測器在其的方形的表面上的一個入射光斑點位置。入射光引起的光電流流經(jīng)設備，作為二個輸入電流和二個輸出電流。輸出電流的分布顯示一個維度（y）的光斑的位置和輸入電流的分布顯示另一個維度（y）的光斑的位置。

二維探測器從2.0*2.0mm2'> ---45.0*45.0mm2'> 可選，上升時間為0.3us---7us。

另外，還提供帶信號處理電路的高線性二維PSD探測器，面積可達10*10mm2'> 。

產(chǎn)品系列

四象限位置傳感器 二維位置傳感器

靈敏度高，暗噪聲低， 靈敏度高，暗噪聲低，

用于高精度中心位置 位置分辨率好，適用于

測量 高精度二維位置測量

應用領域 應用領域

激光準直 位移、水平度測量

中心位置校準 三維形貌測量