Automegasamdri-938, Series C
產(chǎn)品特點(diǎn)：
新配置的專用“慢充”控制，給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學(xué)，保護(hù)了大多數(shù)易脆樣品；
外部配置了PURGE后的過濾裝置，保護(hù)樣品，容易更換和后期維護(hù)；
采用了的“Vortex Swirl”非機(jī)械攪拌，使PURGE而不至于破壞樣品；
高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng)，可以快速冷卻腔體溫度，縮短操作時(shí)間；
內(nèi)置SOTER冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣，消除排氣噪音；
的樣品室填塊，可以改變樣品室直徑，減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時(shí)間，并兼容不同尺寸晶圓的處理；
內(nèi)部過濾系統(tǒng)，過濾流進(jìn)樣品室的液態(tài)二氧化碳，過濾顆粒尺寸達(dá)到0.08μm；
一次運(yùn)行可以處理5片8英寸晶圓，改變樣品室尺寸，每次運(yùn)行也可以分別處理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶；
標(biāo)配特氟龍兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個(gè)；
垂直樣品室，內(nèi)腔有照明，樣品室蓋子帶觀察窗；
明亮的LCD觸屏控制；
內(nèi)置出廠自動運(yùn)行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序；
所有內(nèi)部表面適用于CO2，丙酮和超純乙醇；
可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù)，確保結(jié)果的可重復(fù)性；
集成自動控溫和靜態(tài)壓力控制模塊，確保自動安全的運(yùn)行；
潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；
產(chǎn)品規(guī)格：
外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；
安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
樣品室尺寸：內(nèi)徑8.5” × 深1.25”，樣品室容積：1162 ml;
LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型計(jì)量閥門來控制；
120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
標(biāo)準(zhǔn)配件：
高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長；
雙T型過濾裝置，雙重過濾微小顆粒，過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；
安裝工具；
防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；
樣品室O型圈3個(gè)，樣品室LED照明燈1個(gè)，3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè)；
5個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;
直徑為8、6、4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架各1個(gè),樣品架HF兼容；
用戶手冊；
